深圳技术大学金属有机化合物气相沉积仪意向公开
2026-08-20
广东/深圳 招标采购
深圳技术大学金属有机化合物气相沉积仪意向公开
广东/深圳-2026-08-20 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2026-08-20 00:00:00
深圳技术大学金属有机化合物气相沉积仪意向公开
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深圳技术大学金属有机化合物气相沉积仪意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 金属有机化合物气相沉积仪 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟购置金属有机化合物气相沉积仪*套 *.近耦合喷淋式反应腔，****/***材料生长系统； *.晶圆尺寸：*英寸向下兼容； *.反应室腔体压力：*.*****至********范围可调，控压精度±*%**以内，真空漏率＜*×**？？ ****·*/*； *.旋转系统转速：*至*** ***范围可调，旋转控制精度±*.* ***以内； *.控温系统：电阻丝加热，三区独立控温，三区根据*值可自动调整，最高加热温度不低于****℃； *.配置**源气体管线*路，预留空间*路； *.氢化物、载气及压力平衡气路*路，预留空间*路； *.原位监测系统：配备*****、*****、*****三波段集成原位监测系统,实时监测并显示外延生长时的温度、反射曲线、生长速率以及温度******* 等功能； *.配备安全监测与报警系统、可编程的逻辑控制器，并配置工控机及数据库，***电，继电器，**/**模块，人机界面，软件系统，菜单编辑及数据分析管理等。 |
| 联系人: | 张敏 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
