（一）分子泵 *．运行速度：≥***** */***; *．泵体结构：半磁浮轴承设计; *．抽速性能 （*）氮气（*₂）抽速：≥** */* （*）氦气（**）抽速：≥** */* （*）氢气（*₂）抽速：≥** */* （*）氩气（**）抽速：≥** */* *．极限真空度 （*）*****/*****法兰接口极限真空：≤*.*×***** **** *．压缩比 （*）氮气压缩比：≥*×****； （*）氩气压缩比：≥*×****； （*）氦气压缩比：≥*×***； （*）氢气压缩比：≥*×***； （二）双级油封式旋片真空泵 *．抽速（****）：≥***³/*; *．关气镇极限分压强：≤**********; *．连接口:连接口：** ** ******; *．额定工况运行噪音：≤** **(*); （三）控制系统 *．控制面板：不小于*英寸高清彩色工业级触控面板；支持中、英文双语操作界面，界面可视化程度高; *．可实现分子泵、前级泵联动一键启停,分子泵的运行参数实时可读取。

按行业标准提供服务，整机保修一年