| *.底盘结构：*.*采用方管焊接式框架，方管壁厚*****，外观要求白色喷漆处理，围板厚度*****，防止生锈，配备可以打开的磁吸柜门；*.*底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。*.*带有机械旋转手臂，可以多角度调节操作界面。*.基片架结构：*.*基片盘采用嵌入式结构，标配可搭载*片***×*** **基片，并可兼容更换为多片式基片托盘（向下兼容小尺寸基片），带水冷。基片托盘配备独立水冷通道，冷却水流量可调，进水温度控制在*~**℃范围；*.*电机驱动实现连续可调速旋转，转速范围*~**转/分钟，转速控制精度±*转/分钟；托盘与驱动轴之间通过磁流体旋转密封连接，磁流体密封寿命不低于*****小时，静态漏率≤*×**** **·**/*。*.蒸发源：*.*配置*组舟源，材质及结构应支持金属、有机、无机等多类材料蒸镀，蒸发源舟材质可选钼舟/钽舟/氧化铝舟等；每组蒸发源均配备冷却系统；源与基片的垂直距离≥ *** **。*.*配套*台舟源蒸发电源，功率≤*.* **，可调节升温上限达**** ℃，电流控制精度±*.* *，具备过流、过温双重保护功能。*.*另配置*组低温束源，适用于有机材料蒸镀，源与基片的垂直距离≥*** **。配套*台可编程直流电源，升温上限*** ℃，电流控制精度±*.* *，支持程序化升温曲线设定（至少支持*段程序）*.自动化控制软件：*.*采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成；*.*工控机处理器不低于***** **第*代（或同等性能***处理器），运行内存不低于***，固态硬盘容量不低于*****，操作系统为正版******* **及以上版本；显示器分辨率****×****，，配备***与****双接口，通过机械手臂固定于设备框架。*.*软件须具备以下功能：①材料工艺参数库管理（支持存储不少于**种材料的工艺配方，含蒸发温度曲线、膜厚设定值、旋转速率等参数）；②一键自动蒸镀功能，实现抽真空、电源升降功率控制、基片旋转、多源材料切换、挡板开关等全流程自动化操作，无需人工干预；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）③具备实验数据自动记录及导出功能（导出格式支持*****/***）；④具备多级用户权限管理（管理员/操作员分级）；⑤具备联锁保护逻辑（真空未达标时蒸镀源无法启动等安全联锁）。*.膜厚控制系统：*.*配置*个标准双晶振传感器，水冷式结构，安装于基片盘附近，晶振片使用寿命不低于**小时（以**材料常规工艺条件计）；*.*膜厚控制软件集成在设备控制软件系统中，膜厚速率显示精度在±*.** ？ /*。支持密度、*******、声阻抗等材料工艺参数库预设及自定义输入，可存储不少于**种常用材料的密度及*******参数；*.*以**材料为验证条件，膜厚均匀性≤ ±*%（基片范围内多点测试），膜厚重复性≤ ±*%（连续*次以上镀膜测试）。（需提供薄膜均匀性实测数据证明。竞采响应时提供）*.真空室：*.*方箱型真空腔体材质为****不锈钢防腐腔体，内部尺寸≤*** **×*** **×*** **；腔体内部装有基础结构件、挡板固定装置、蒸发电极、真空泵接口、样品盘等部件，所有内部结构件材质须为不锈钢或耐高温合金，禁止使用易挥发有机材料。*.*真空腔体配备两个门体：前门为移门结构，配备直线导轨及滑块，可实现左右开启关闭，并预留与手套箱对接的法兰接口，确保对接后腔体处于氮气或惰性气体保护氛围；后门为旋转门结构，通过旋转轴实现开关，主要用于内部维护检修，门体配备安全联锁开关（门开启时设备自动断电保护）；后门配置长方形观察窗（钢化玻璃材质，耐真空压差），配置腔体外部***照明灯，便于观察腔体内部状况。*.*腔体极限真空优于*.*×**** **，从常压到*×**** **不超过** ***（充氮气保护）系统停泵关机**小时后，真空度≤***。该系统可以在不停分子泵的前提下，对腔体内部材料添加、更换，也可以取放基片。*.真空系统：*.*前级泵的抽速不低于** **/*；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）*.*主泵采用防腐型分子泵，抽速≥*** */*，轴承类型为陶瓷球轴承或磁悬浮轴承，分子泵启动至额定转速时间≤** ***，具备过热、过载自动保护及断电自然停机保护功能；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）*.*真空室配真空计，测量范围为大气压至**** **；真空管路材质为不锈钢，接口采用**/**标准法兰，密封圈材质为氟橡胶（*****）或全氟橡胶（******），耐温范围≥***℃。* 安全防护*.*设备须配备紧急停止按钮（红色蘑菇头，位置醒目易操作）；*.*配备漏电保护装置及可靠接地端；控制柜内电气元件须符合国家电气安全相关标准，投标人须提供设备电气安全检测报告（如***认证证书或第三方电气安全检测报告，竞采响应时提供）；*.*蒸发源加热区域须配备过温报警及联锁断电保护。 |
