***;!******* *******; ***;**** *****:*="***:*********************:******:****"***; ***;**** *****=""***; ***;**** **********='************' *******='****/****;*******=*****'***; ***;!**以下注释的代码是****转****时用 默认***版视图 ， 造成样式不一致，加上下面这段则是页面视图 ** **** ********** *****; ***;!**[** *** *** *]***; ***;******; ***;*:***************; ***;*:*******;********;/*:*******; ***;*:***********************/***; ***;*:****************; ***;*:***************/***; ***;/*:****************; ***;/*:***************; ***;/******; ***;![*****]*****; ***;***** ****="****/***"***; *****.********* { ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ************: ***; ************: #******; ***************: ********; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; *********: ****; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; } **{ **********: **********; } .********{ ***********: ******; *********: ****; } **{ **********:*********; } .******* **{ ****************: #****** !*********; } *****.********* **{ *********: ****;} **{**********: ****;} .****** **{ **********: ****; *******:*** *; *********: ****; } **.*********{ ***************: *********; ***********: ******; } .*********** *{*********: ****;} .*****{ **********: **** !*********;} .******** **{*************:**** !*********; } .**********{ ******: *** ***** #******; ************: ****; ******: *******; **********: **********; *****:****; **********: ******; *****: ****; /*********: ********; ***:***; ******: ***;*/ } .*****************{ /* ********: ********; ****:****; *****:*; *******: ************;*/ ********: ******; } *****.**************,*****.************{ ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ***********:*; ******: *; **************:*; } *****.************** **,*****.************ ** { *******: *** ***; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; ************:****; *************:**** ; } .*********{ ***************: *********;} .*****{ *******: ************;*******:* ****;} *****.************** **:*********** **{**********:****; } *****.************** ** **:***********{***********:****;} *****.************ **:*********** **{**********:****; } /******.************ **:*********(*) **{**********:****; }*/ *****.************ **.************ **{***********:****; } ***;/********; ***;/*******; ***;*******; ***;** *****="**********: ******;"***; 南方科技大学****;****; ****;****; ********************* 竞采结果公告 ***;/*****; ***;!**采购公告模板开始*****; ***;!**采购公告结束*****; ***;!**延期公告开始*****; ***;!**终止公告结束*****; ***;!**成交公告开始*****; ***;!**竞价成交通知模板开始*****; ***;***** *****="*********" *****="*****:***%;************:*****;"***; ***;***********; ***;*** *****="***"***; ***;/***********; ***;********; ***;*****; ***;*****;项目名称***;/*****; ***;*****; 单片清洗机（等离子清洗机）设备采购 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目编号***;/*****; ***;*****; ********************* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目类型***;/*****; ***;*****; 货物类 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交方式***;/*****; ***;*****; 最低价成交 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;公示时间***;/*****; ***;*****; 本公告自发布之日起三日 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交单位***;/*****; ***;*****;博恒科技有限公司***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交金额(元)***;/*****; ***;*****;******.*****;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交理由***;/*****; ***;*****;最低价成交***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;预算(元)***;/*****; ***;*****; ******.* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;项目预算是否含税***;/*****; ***;*****; 国产含税 ***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="********"***; ***;*****;备注***;/*****; ***;** *****="*******" *****="**********:****"***;***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/********; ***;!**竞价报价详细信息开始*****; ***;*** *****="*****:***%; ********: ********;********: ******;"***; ***;*** *****="*****************"***; ***;***** *****="*********" *****="************:*****;*****: **.*%;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*****; ***;** *****="*****: ****;" *******="*"***;响***;**/***;应***;**/***;情***;**/***;况***;/*****; ***;** *******="*" *****="***********: ****;"***;采购明细***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="***********" *****="****************: #******;*********: ****;***********: ****;"***; ***;** *****="*****: ****;"***;序号***;/*****; ***;*****;名称***;/*****; ***;*****;数量***;/*****; ***;*****;单位***;/*****; ***;*****;单价/元(报价)***;/*****; ***;*****;总价/元(报价)***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="*******"***; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;单片清洗机(等离子清洗机)***;**** *****="*****:***;"***;（核心货物）***;/*******;***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;套***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;******.****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;******.****;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *******="*" *****="*******: *;"***; ***;***** *****="**************" *****="*****: **.*%;************: *****;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="***%"***; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;是否接受进口***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;拒绝进口***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;品牌***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;稷以***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;型号***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;****** ******;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;生产厂商***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;上海稷以科技有限公司***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;产地信息***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;上海市闵行区东川路***号戊楼****室 ***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;一、详细配置***;**/***;*.*射频电源与匹配器***;**/***;**.*.*选用**.*****射频电源。***;**/***;*.*.*最大功率*****。***;**/***;*.*.*全自动高速匹配器，可迅速匹配至最优输出功率与最小反射功 率，支持预匹配功能。***;**/***;*.*.*使用真空可调电容，匹配系统具有优秀的稳定性、可重复性与耐 用性。***;**/***;*.*高真空腔体、与进/排气系统***;**/***;**.*.*腔体有效尺寸：****;**;***** ***** ******。***;**/***;*.*.*可选配多种电极结构配置，包括射频电极(实心、镂空),地电 极(实心、镂空),悬浮电极以及其它定制电极形式。***;**/***;*.*.*标配*路工艺气体，通过质量流量计控制，最大可扩充至*路工 艺。可按工艺需求指定流量计量程(如**/***/***/*******等)。***;**/***;*.*.*采用干泵，抽速****/*。***;**/***;*.*.*真空计有效量测范围*~***********。***;**/***;*.*软件与系统控制***;**/***;**.*.*通过***与工业级**协同控制，基于****系统的专用控制软 件，乙方具备软件著作权，可支持后续对软件功能的定向开发。***;**/***;*.*.*可设置工艺程序数量不受限，以文件形式保存在硬盘上，便于管 理备份。***;**/***;*.*.*具备完善的设备参数监控，可对射频功率、气体流量、腔体压力 等工艺数据进行实时监控与报警定义，当系统发生异常时及时报警提示。***;**/***;*.*.*软件可自定义设置多级权限控制(主管级、硬件工程师、工艺工 程师、技术员与操作员级等等),可设置不同用户名，归入各级控制权限内。***;**/***;*.*.*软件具有独立的数据库，可存储系统日志(***** ***)与工艺 数据(**** ***)以便随时追溯。数据可随时导出，便于厂家存档备份。***;**/***;二.技术指标***;**/***;*.*.工艺效果***;**/***;*.*.*根据客户要求，可实现*寸*****清洗活化用途；***;**/***;*.*.*经合适的等离子工艺处理后，产品表面水滴角可达到******;***;以内 或者客户指定范围。***;**/***;*.*.*产品处理后表面无异色，无烧灼。***;**/***;*.*设备硬件指标***;**/***;**.*.*低压可在****内降到********以下，工艺腔体极限真空****;**; *******,极限真空后压升****;**;*******/******;**/***;*.*.*射频功率**~*****连续可调。设定****以上时，误差值****;**;设定 值****;******;*%;****以下时，误差****;**;***。***;**/***;**.*.*匹配器将射频功率匹配到最佳值的时间****;**;**。***;**/***;*.*.*流量计最小气流量****;**;满量程*%,气体流量误差****;**;该流量计满量 程的*.*%。***;**/***;*.*产能与稳定性***;**/***;*.*.*工艺腔体的单个工艺周期****;**;****(以射频工艺时间****计算)。***;**/***;*.*.* ********;**;****。***;**/***;*.*.* ********;**;**。***;**/***;***;**/***; 配置名称 数量 备注***;**/***;真空不锈钢腔体 * 容积****/有效容积*******;**/***;射频电源 * **.***** /********;**/***;全自动高速匹配器 * 真空电容，全自动高速匹配器***;**/***;真空泵 * 干泵*******;****;/****;**/***;真空计 * **********;**/***;流量计 * **********;**/***;工控机 * 研华工控，含专用软件***;**/***;*** * ********;**/***;电极组 * *组平板电极，***;**/***;***** *备件包 * 耗材***;**/***;晶圆托盘 * 八寸晶圆托盘***;**/***;三、所响应产品是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如若安装或配置了软件，均为正版软件。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*、保修期***;**/***;*.*设备验收合格之日起**个月计算。***;**/***;*.*设备保修期内出现的顽疾如未能彻底解决或反复出现，即使过保后，卖 方无偿解决并补签备忘录。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*.维护保养 *.*保修期内，若设备发生故障，卖方在接到买方的设备故障通知后，**小 时内赶到现场，保修期内的维修服务和除消耗品以外的零部件的更换属于无 偿的。 *.*保修期外，若设备发生故障，卖方应在接到买方设备故障通知后**小时 (特急情况**小时)内抵达用户现场。保证期外的维修服务和所有部件的 更换属于有偿的。 *.*设备保修期满后，卖方工程师每年回访招标人一次，招标人在设备方面 遇到问题时，卖方工程师应尽力解决。 *培训 *.*设备最终验收前，卖方负责对买方的技术人员免费进行为期一周的操作 技术及维护保养培训，培训内容包括设备的安装、使用、日常维护与保养， 故障的排除，安全操作等。 *.*技术培训应达到实际效果，要使招标人的技术人员熟练操作设备，并掌 握设备日常维护与保养方法。 *.*在设备保修期内，若买方技术人员对设备有其它使用技术上的要求，卖 方应通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并甲方收到乙方开具相应发票之日起（**）个工作日内支付合同总额的（**）%作为进度款。甲方应在货物交付、安装调试、试运行及验收合格之日起（**）个工作日内向乙方支付本合同价款总额的（**）%。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后***天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;