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***;* *****="******"***;产地信息***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;北京市怀柔区雁栖大街**号院**号楼二层***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*.溅射室极限真空度：****;**;*.****** ** (经烘烤除气后)；***;**/***;真空获得采用*****/***分子泵和优质机械泵（*****,**/*）+*****电动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。***;**/***;系统真空检漏漏率：****;**;*.********.*/*；***;**/***;系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到****** **；***;**/***;系统停泵关机**小时后真空度：****;**;******;**/***;*，溅射室中配有*套国产****高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含一个强磁靶,各溅射靶距离可调），靶材尺寸：Ф****。分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶**、**、**兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：**~****。***;**/***;*.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径*****样品，样品具有连续旋转功能，旋转*****;*****;**转/分连续可调。***;**/***;*.加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和*个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为***自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～*******;***;*，连续可调；***;**/***;*.系统配有三路国产怡东质量流量计+***控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为*******、******、******。 共*路,配备独立混气室；***;**/***;*.系统配有*台数字式****脉冲直流电源和*台****全自动匹配射频电源。*套*****脉冲偏压电源；***;**/***;*.加热装置在采用进口氮化钽加热器进行加热，加热温度：室温****;*****;********;***;*，可耐氧气、耐氮气进行化学反应沉积，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。***;**/***;*.尺寸为*英寸的样品可均镀膜，不均匀度 为****;**;****;******;*%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约*****）***;**/***;*.后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发；***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;质保期为一年***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*、设备安装、调试和验收:在合同生效后的*个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询;仪器到达用户指定交货地点后根据用户的时间安排，仪器制造商 (或代理商)在接到用户通知后**天内进行安装调试，直至通过验收 *、技术培训:在用户所在地对用户技术人员(至少*人) 进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另走;培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 *、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供****小时的售后服务，接到用户需求后*小时内响应，如有需要**小时内到达用户现场。 *、质保期过后，对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质品上乘、价格合理的各种配件。 *、后期提供相关涂层材料的研发协助，包括中熵合金，高熵合金，金属氧化物，高分子涂层等磁控溅射沉积工艺优化以及新型涂层材料开发***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付***％的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; 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