纳米科学与应用研究院宋爱民课题组申请采购反应离子刻蚀机一台成交公告
2026-07-28
广东/深圳 中标结果
纳米科学与应用研究院宋爱民课题组申请采购反应离子刻蚀机一台成交公告
广东/深圳-2026-07-28 00:00:00
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***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;北京***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*、机台可是样片为四英寸片,并且兼容两英寸片以及碎片;***;**/***;*、工艺腔采用铝材材质,一体成型;***;**/***;*、投标设备为工艺腔顶部进气;***;**/***;*、投标设备采用腔室测下方抽气的方式;***;**/***;*、工艺射频电源是****一体机,**.*****,自动匹配;***;**/***;*、真空系统为分子泵组;***;**/***;*、工艺压力范围为*~*****;***;**/***;*、投标设备配置*路工艺气体、一路**吹扫气体,一路***;***;**/***;*、投标设备工艺气体种类为**、**、***、****、** *,流量范围*~*******,使用数字通讯金属密封***控制气体流量;***;**/***;**、投标设备基片散热采用的是水冷系统,控温范围*℃~室温,控温精度****;******;*.*℃;***;**/***;**、投标设备控制软件是基于*语言,自主研发的软件。全自动控制流程,带有******菜单,日志与数据记录,异常报警与处理,登录权限管理,带有用户等级管理;自动运行与工程维护界面模块;实时显示机台状态;日志管理功能,工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录,生成***文件;动作互锁功能;工艺菜单编辑功能;机台异常处理功能;单次刻蚀,支持多步刻蚀。***;**/***;**、投标设备人机交互界面采用**英寸触摸屏,位于机台操作面正上方,水平放置;***;**/***;**、投标设备的刻蚀材料为二维材料、四族材料(**、****、石英、****、***)以及有机材料(**、****、****);***;**/***;**、投标设备是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),配有正版软件。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;**个月***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;保修期自货物验收合格之日起计算,应在保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。如货物出现损坏和故障,应在接到通知后**小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付**%的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前*天(自然日)通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;
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