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***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;设备功能：基于平板式等离子体原理，机台可用于制备微纳结构以及材料减层刻蚀， 可用于如金属硫族化合物、****、****、石墨烯等二维材料逐层减层刻蚀和图形化刻蚀；可用于如单晶硅、多晶硅、氮化硅（****）、氧化硅(****)、石英(******)以及碳化硅(***)等硅基材料的图案化蚀刻；可用于如光刻胶、****等有机材料的图案化刻蚀。***;**/***;***;**/***;工艺腔***;**/***;*、样品台：*英寸圆片，兼容*英寸圆片以及碎片***;**/***;**、偏置功率源：固态**.** ***射频电源*~*** *可调，最大满功率*** *，输出功率*~****可调，最小稳定工艺功率**，功率调节精度*.* ****;**/***;*、样片控温范围：* ℃～室温，控温精度****;******;* ℃***;**/***;**、工艺腔材质为半导体级铝材，内径*****，内壁经耐腐氧化处理***;**/***;**、工艺腔内壁带有内衬，内衬表面经耐腐氧化处理***;**/***;***;**/***;传输腔***;**/***;*、传输腔一套，预留大气样片传输口与手套箱传输口***;**/***;*、真空机械手一套***;**/***;***;**/***;真空泵组***;**/***;*、分子泵：采用抽速为****/*的油润滑分子泵***;**/***;*、前级泵：采用抽速为** */*机械泵***;**/***;*、工艺真空规：使用进口*******耐腐蚀电容薄膜真空计测量腔室真空***;**/***;***;**/***;气路系统***;**/***;*、气体种类：五路工艺气体**, **, ***，****, ***，一路吹扫气体**，一路******;**/***;*、气体量程：**, **, ***, ****, ***: *~*** *******;**/***;**、气体流量控制使用气体质量流量计（***），***采用金属密封方式，采用串口数字通讯方式，支持在线更改气体种类与气体量程，气体管路接头采用日本*******接头，***前后端设置气动隔膜阀以保护******;**/***;***;**/***;控制系统***;**/***;*、控制系统：机台采用*******系统的工控机作为机台的控制系统主机***;**/***;*、控制软件：基于*语言自主研发，软件支持全自动流程控制，支持******工艺菜单库，支持机台日志与工艺数据记录，支持异常报警处理，支持登录权限管理***;**/***;*、机台人机交互界面采用**英寸触摸屏显示器，控制软件带有用户等级管理与操作权限管理；带有自动运行与工程维护界面模块；带有实时显示机台状态功能；带有日志管理功能，带有工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录功能，支持生成机台***文件；带有动作互锁功能；带有工艺菜单编辑功能；带有机台异常处理功能，单次刻蚀，支持多步刻蚀工艺***;**/***;**、机台安全控制系统带有安全互锁与急停机制（***）；机台带有异常处理机制***;**/***;***;**/***;工艺指标***;**/***;**、刻蚀速率：二维材料：*.*~* *****/***（慢速逐层刻蚀），* **~** **/***（快速图形化刻蚀），硅基材料：*~****/***，**材料：*~****/******;**/***;*、二维材料逐层减层刻蚀离子最小能量为* *****;**/***;*、刻蚀均匀性：****;**;****;******;*%（@四英寸去除边缘效应）***;**/***;***;**/***;所响应产品都是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），软件为正版软件。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;验收合格后**个月***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;报修联系人：曹英豪，电话：***********.验收合格后保修方案：电话**小时内响应，**小时内提供远程诊断和指导。电话不能解决问题的，我单位将在**小时内派遣工程师到达客户现场。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;*.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款；材料到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的**%.***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后***天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;