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***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;四源手套箱连接热蒸发镀膜机解决方案及配置***;**/***;一、设备用途、结构组成和主要参数：***;**/***;***;**/***;标准配置是四个电阻热蒸发源：①金属舟（钨、钼、钽，电流控制方式）、②中温束源炉（陶瓷坩埚、石英坩埚，温度控制方式）、③钨蓝和钨绞丝（电流控制方式）。***;**/***;上述三种类型的蒸发源，可蒸镀大多数材料，包括有机材料、金属材料等。***;**/***;蒸发源数量，根据用户需求进行配置（*个）。***;**/***;*、设计*套热蒸发源的位置，安装 *套热蒸发源。***;**/***;其中两套金属舟蒸发源，电流控制方式的最大电流****，通过铜水冷电极柱，将大电流引入真空室内。还有两套束源炉蒸发源配石英坩埚。******;**/***;***;**/***;*、设备由立式矩形真空室三开门、电阻热蒸发源、束源炉、可旋转加热样品台、机械泵分子泵真空机组、电控系统、膜厚测量系统，水冷管路组成。 ******;**/***;***;**/***;*、立式矩形真空室，采用真空专用奥氏体不锈钢***材料，采用前后开门,以及上开门结构。 ******;**/***;***;**/***; 设备整体结构采用标准铝型材作为框架主体承载真空室。 ******;**/***;***;**/***;*、蒸发源之间安装挡板，避免交叉污染。蒸发源带挡板 ******;**/***;***;**/***;*、真空室上法兰盖中心处安装可旋转样品架。根据用户要求 : 基片尺寸为*********。数量*片。定制配套掩膜板（由用户提供图形模板）样品台只提供一次掩膜图形镀膜，切换图形需破真空舱外手动更换图形。********;**/***;***;**/***; 样品架可旋转，转速*～**转/***可调。基片和热蒸发源的距离***～*****可调。样品台可加热至***℃。 ******;**/***;***;**/***; 样品台配整体样品台不锈钢挡板。******;**/***;***;**/***;*、采用超高真空密封技术和超高真空阀门，密封性能好，可保证镀制高质量的薄膜。***;**/***; 系统极限真空度：极限真空度********。***;**/***; 工作背景真空度*****;*****;****** ，抽速**分钟左右(充干燥氮气)。 ******;**/***;***;**/***; 真空测量：微机型复合真空计，测量范围从*****;*****;*****到*****;*****;******。电阻规测量低真空，电离规测量高真空。******;**/***;***;**/***;*、观察窗挡板：***;**/***;玻璃观察窗带不锈钢挡板，避免材料镀到观察窗上，减少观察窗被镀膜的机会；同时，配有活动内衬玻璃挡板，避免镀到观察窗上，只需将活动玻璃拿出来清洗即可。 ******;**/***;***;**/***;**、配真空室烘烤照明系统，烘烤灯采用真空密封石英灯。配烘烤照明电源。 ******;**/***;***;**/***;**、配单个膜厚探头及膜厚仪，精度*.**用于膜厚监测，不做膜层控制，高速高精度测量。采用特有的频率测量技术，频率测量分辨率为*.*****（*****）,测量速度为**次/*。 ******;**/***;***;**/***;**、真空腔体预留与手套箱对接的过度法兰。******;**/***;***;**/***;**、电控柜：放置到手套箱下，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、阀等）、数显真空计、蒸发电源、***可编程控制器及液晶触摸屏等。柜底下配脚轮，方便移动、定位。 ******;**/***;***;**/***;三、设备主要配置***;**/***;*、镀膜室腔体部分***;**/***;***;**/***;*.*、立式矩形三开门真空室*套，真空专用不锈钢（奥氏体，***）(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;*.*、真空室三开门机构各*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、预留*个盲板法兰口，用于设备功能的扩展；预留晶振膜厚仪接口(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*、真空系统部分***;**/***;***;**/***;*.*、大抽速高质量性能的分子泵，抽速*****/*，*台（品牌：****） ******;**/***;***;**/***;*.*、*****机械泵 *台；**/* （品牌：鲍斯真空）******;**/***;***;**/***;*.*、****真空挡板充气阀（电动）*台（品牌：九天真空）；******;**/***;***;**/***; ****高真空挡板阀（电动）*台（品牌：九天真空）；******;**/***;***;**/***;*.*、泵阀连接组件*套(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;*.*、前级不锈钢液压波纹管路*套(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;*.*、微机型电阻****;*****;电离复合真空计*台（*低*高）大气～******（品牌：睿宝科技）；******;**/***;***;**/***;*.*、低真空规管*支，（品牌：睿宝科技）******;**/***;***;**/***; 高真空规管*只（品牌：睿宝科技） ******;**/***;***;**/***;*.*、充放气阀*支（品牌：北京七星华创）；******;**/***;***;**/***;*、部件部分***;**/***;***;**/***;*.*、Ф***观察窗*套，(品牌：鹏城半导体)； *** ***;**/***;***;**/***; 观察窗不锈钢挡板*套 ; (品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***; 活动玻璃内衬挡片*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、可电动旋转加热样品沉积转台*套；(品牌：鹏城半导体) ******;**/***;***;**/***; 基片托架*套(品牌：鹏城半导体) ******;**/***;***;**/***;*.*、样品台挡板*套；（品牌：鹏城半导体） ******;**/***;***;**/***;*.*、水冷电极柱热蒸发源*套（可切换单套使用）(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、源炉热蒸发源*套（可切换单套使用）(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、蒸发源挡板*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、可控温真空室烘烤系统*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、热蒸发源之间的隔板*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、设备主机架*套(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;*.**、循环水冷机*台； ******;**/***;***;**/***;*.**、手套箱*台（******手套箱与真空室配合，能够与实验室内超级净化手套箱*********系列集成控制使用。）(品牌：********)； ******;**/***;***;**/***;*.**、小型空压机 ******;**/***;***;**/***;*、电控部分***;**/***;***;**/***;*.*、总电源*套(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;*.*、****恒流电源*台最大输出电压***(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***; ****束源炉温控电源*台(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、智能可控温烘烤电源*套(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、样品台旋转驱动与控制系统*套（配电机）(品牌：鹏城半导体)； ******;**/***;***;**/***;*.*、样品台加热电源（可加样品台加热至***℃）(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;**/***;**、配单个膜厚探头及膜厚仪，精度*.**用于膜厚监测，不做膜层控制，高速高精度测量。采用特有的频率测量技术，频率测量分辨率为*.*****（*****）,测量速度为**次/*。******;**/***;***;**/***;*.*、电控柜集成在手套箱下方*套(品牌：鹏城半导体)；******;**/***;***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;提供制造商免费质保*年。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;维修响应时间：提供设备报修电话及联系人（设备报修联系人：戴朝兰，设备报修电话：***********），招标人报修后，*小时内响应，**小时内派员上门现场维护，并在**小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付**％的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后***天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;