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***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;我公司提供的产品满足此项目的技术需求，具体参数如下：***;**/***;一、电源电压：**** **** ***;**/***;总功率：＜*.*** 腔体内径：****;***;***** 极限真空度：****;**; ******* 工作温度：******℃，精度****;******;*℃ 靶枪数量：*个 靶枪冷却方式：水冷 靶材尺寸：****;***;*****;*****;，厚度*.******* 直流溅射功率：**** 射频溅射功率：**** 载样台：****;***;***** 载样台转速：**********内可调***;**/***; 二、所含隔膜泵***;**/***; *、抽速（**/*）：*.****;**/***; *、极限分压强（***）:*.****;**/***; *、转速(*/***)：**** ***;**/***;*、电源功率（**）*.** ***;**/***;*、抽气口连接：**/* ***;**/***;*、工作环境温度（℃）***** ***;**/***;*、噪音（**）****;**;** 三、所含膜厚显示仪 ***;**/***;*、供电电源： ******+**% ***;**/***;*、输出电源： **** ** ***;**/***;*、显示器： ** * *数码管+******;**/***;*、通讯端口： **－***（波特率****、****、****、****、*****、*****可选择；数据位：*位；停止位：*位；奇偶校验：无） ***;**/***;四、所含石英晶片 **** ***;**/***;五、所含直流电源 ***;**/***;*. 电源最大输出功率值：*** *。***;**/***;*. 直流源工作电压： * * ～ *** *。***;**/***;*. 最大工作电流： *.** *。***;**/***;*. 直流输出功率：* *～*** * 连续可调。***;**/***;*. 电源可支持恒流、恒压、恒功率三种模式。***;**/***;*. 直流电源工作压力范围：* **～*** **。***;**/***;*. 连续工作时间：** *。***;**/***;*. 数据显示方式：*** ** ****;*****; ** ** 液晶屏显示。***;**/***;*. 功率设置显示：可以实现功率的预先设置，然后一键启动，启动过程中开始缓慢加功率之后达到设置的功率值，实际功率不会过冲而且稳定。显示屏上正确显示输出功率以及输出功率的电压值和电流值。***;**/***;**. 电源工作时间设置：本电源支持加功率时间的设置，设定时间到后，电源自动停止工作。***;**/***; 六、所含射频电源及匹配器 ***;**/***;*、输出功率： ****** ***;**/***;*、功率稳定度 ：****;******;*.*% ***;**/***;*、输出频率 ：**.***** ***;**/***;*、频率信号 ：标准正玄波 ***;**/***;*、输入电压 ：********** ***;**/***;*、输入电流： *****;**/***; *、输出阻抗 ：**？***;**/***; *、承受驻波比： ****;**;*.* ***;**/***;*、冷却方式 ：风冷 ***;**/***;**、通讯口 ：***** ********;**/***; **、标准 ：**********;**/***; **、模拟控制接口 ：*******;**/***; **、输出接口 ：*/******;**/***; **、尺寸： ***(宽)****;*****;***(深)****;*****;***(高) ***;**/***;**、匹配器控制 ：有 ***;**/***;七、所含膜厚监测仪 ***;**/***;*、供电电源： ******+**%***;**/***; *、输出电源： **** *****;**/***; *、显示器： ** * *数码管+*** ***;**/***;*、通讯端口： **－***（波特率****、****、****、****、*****、*****可选择；数据位：*位；停止位：*位；奇偶校验：无） ***;**/***;八、所含冷水机 ***;**/***;*、工作电压：** ********* ****/*******;**/***; *、工作电流：*.****.** ***;**/***;*、水箱容积：** ***;**/***;*、水流速率：***/*** ***;**/***;*、出入水口：外径****铜咀***;**/***; *、制冷量：*******/*（*******/*） ***;**/***;九、减径直通 ****;***;*变径到****;***;*与****;***;**变径到****;***;*各一个 ***;**/***;十、不锈钢卡圈卡环 ****;***;*不锈钢卡圈卡环一套 ***;**/***;十一、内六角扳手 *.* *型、* *型、* *型各一个***;**/***; 十二、螺丝刀、真空硅脂、聚酯**管（外径* 内径* 蓝）、锁扣式夹板箱若干***;**/***; 十三、靶材一组：***;**/***;*.**靶材 纯度** 尺寸：**.***.*** ***;**/***;*.* 靶材 纯度** 尺寸：**.***.******;**/***; *.*****靶材 纯度**（带铜背板）尺寸：**.***.*** *.****靶材 纯度** （带铜背板）尺寸**.***.****.**靶材 纯度** （带铜背板） 尺寸：**.******.***靶材 纯度**以上（带铜背板 尺寸：**.******.***靶材 纯度** （带铜背板） 尺寸：**.******.****靶材 纯度**以上 尺寸：**.***.******;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***; 我公司提供的设备质保为*年***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【*】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付**％的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;