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***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*. 真空腔室：采用***不锈钢材质，腔室直径****;***;*****，高度*****，双层水冷，配一套方便拆卸的防污板；***;**/***;★*. 真空系统：包含一台分子泵和一台前级泵，分子泵抽速：*****/*（即******/*），前级泵抽速：**.**/*（即**.***/*），预留可升级为低温泵组的真空接口；***;**/***;*. 真空极限：优于*.*****;*****;******；***;**/***;*. 抽速：抽至**********;**;*****；***;**/***;★*. 基片台：有效镀膜尺寸不小于*英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板尺寸****;**;*****，磁流体密封；基片台设计旋转，转速****转/分且可自行调整，磁流体密封；衬底设计加热，最高温度***℃，预留升级替换为基片台水冷的真空接口；***;**/***;*. 电子束蒸发源：*型电子枪一支，枪功率不小于***，配*穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；***;**/***;★*. 热阻蒸发源：两组热阻蒸发源，各源均独立，采用陶瓷绝缘结构，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，磁流体密封；蒸发电源功率*.***，电流显示精度*.**，具备粗调微调功能；***;**/***;*.膜厚控制系统：采用进口品牌薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，*只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率****;******;*.***ā/*，厚度显示分辨率****;******;*.****ā；***;**/***;★*. 操控系统：***+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；***;**/***;**.报警保护：缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等；***;**/***;**.其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机*台，静音气泵*台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*年质保***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;维修响应时间：提供设备报修电话：************，联系人：吴坤华，招标人报修后，【**】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付**％的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;