逯瑶课题组高真空磁控溅射镀膜设备采购成交公告
2026-07-28
广东/深圳 中标结果
逯瑶课题组高真空磁控溅射镀膜设备采购成交公告
广东/深圳-2026-07-28 00:00:00
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***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目编号***;/*****; ***;*****; ********************* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目类型***;/*****; ***;*****; 货物类 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交方式***;/*****; ***;*****; 最低价成交 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;公示时间***;/*****; ***;*****; 本公告自发布之日起三日 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交单位***;/*****; ***;*****;安徽嘉硕真空科技有限公司***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交金额(元)***;/*****; ***;*****;******.*****;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交理由***;/*****; ***;*****;最低价成交***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;预算(元)***;/*****; ***;*****; ******.* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;项目预算是否含税***;/*****; ***;*****; 国产含税 ***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="********"***; ***;*****;备注***;/*****; ***;** *****="*******" *****="**********:****"***;***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/********; ***;!**竞价报价详细信息开始*****; ***;*** *****="*****:***%; ********: ********;********: ******;"***; 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***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;安徽合肥***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。*.真空腔室:净空间尺寸不大于****;***;*******;*****;**** **,要求前开门,前门需配备观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于****;***;****,配至少一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用***不锈钢材质;*真空系统:主泵分子泵抽速不小于**** **/ *,前级泵抽速不小于** **/ *,全量程数显复合真空计量程:*****;*****;***~*****;*****;******;*.真空极限:优于*.*****;*****;**** ****;*.抽速:抽至*.*****;*****;**** ********;**;*****;*.基片台:基片台,最大可处理基片不小于*英寸,基片台配一体式全尺寸挡板,挡板开合需要磁流体密封;基片台旋转:旋转速度****转/分连续可调,基片台旋转需要磁流体密封;基片台加热:***智能温控表,控温范围室温~***℃;*.溅射靶及电源:不少于*只圆形平面靶,靶面尺寸不小于****;***;** **,可调整角度不小于****;******;******;***;,可单靶轮流/双靶聚焦共溅射;直流电源不少于*台,要求可切换恒压,恒流,恒功率控制模式,电源功率可以预先设置;射频电源*台,频率**.** ***,要求自动匹配;配*****偏压电源,可实现等离子体清洗功能;*.靶挡板:靶上有气动水平打开式挡板,角度与靶倾斜角度同步可调,要求磁流体密封;*.气路系统:不少于两路工艺气体** *控制,量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要;氩气准确度优于****;******;*.*****;其他工艺气体准确度优于****;******;*****;*.操控系统:** *+触摸屏手自一体操控系统,真空系统的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效;**.辅件配置:冷却循环水机*台,制冷量不小于**。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***; 质保*年***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;基础服务:包括设备安装调试、维修保养、技术支持及操作培训,需确保设备稳定运行并延长使用寿命。 响应时效:一般要求**小时内响应服务请求,重大问题需**小时内解决。 专业能力:售后服务团队需具备技术资质,定期接受培训以保障服务质量。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的**%。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前*天(自然日)通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**报价详细信息结束*****; ***;!**竞价成交通知模板结束*****; ***;!**竞标成交通知模板开始*****; ***;!**竞标成交通知模板结束*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;
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