***;!******* *******; ***;**** *****:*="***:*********************:******:****"***; ***;**** *****=""***; ***;**** **********='************' *******='****/****;*******=*****'***; ***;!**以下注释的代码是****转****时用 默认***版视图 ， 造成样式不一致，加上下面这段则是页面视图 ** **** ********** *****; ***;!**[** *** *** *]***; ***;******; ***;*:***************; ***;*:*******;********;/*:*******; ***;*:***********************/***; ***;*:****************; ***;*:***************/***; ***;/*:****************; ***;/*:***************; ***;/******; ***;![*****]*****; ***;***** ****="****/***"***; *****.********* { ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ************: ***; ************: #******; ***************: ********; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; *********: ****; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; } **{ **********: **********; } .********{ ***********: ******; *********: ****; } **{ **********:*********; } .******* **{ ****************: #****** !*********; } *****.********* **{ *********: ****;} **{**********: ****;} .****** **{ **********: ****; *******:*** *; *********: ****; } **.*********{ ***************: *********; ***********: ******; } .*********** *{*********: ****;} .*****{ **********: **** !*********;} .******** **{*************:**** !*********; } .**********{ ******: *** ***** #******; ************: ****; ******: *******; **********: **********; *****:****; **********: ******; *****: ****; /*********: ********; ***:***; ******: ***;*/ } .*****************{ /* ********: ********; ****:****; *****:*; *******: ************;*/ ********: ******; } *****.**************,*****.************{ ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ***********:*; ******: *; **************:*; } *****.************** **,*****.************ ** { *******: *** ***; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; ************:****; *************:**** ; } .*********{ ***************: *********;} .*****{ *******: ************;*******:* ****;} *****.************** **:*********** **{**********:****; } *****.************** ** **:***********{***********:****;} *****.************ **:*********** **{**********:****; } /******.************ **:*********(*) **{**********:****; }*/ *****.************ **.************ **{***********:****; } ***;/********; ***;/*******; ***;*******; ***;** *****="**********: ******;"***; 南方科技大学****;****; ****;****; ********************* 竞采采购公告 ***;/*****; ***;!**采购公告模板开始*****; ***;***** *****="*********" *****="*****:***%; ************:*****;"***; ***;***********; ***;*** *****="***"***; ***;/***********; ***;********; ***;*****; ***;*****;项目名称***;/*****; ***;*****; 材料系**** **********课题组无掩膜紫外光刻机采购申请 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目编号***;/*****; ***;*****; ********************* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目类型***;/*****; ***;*****; 货物类 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交方式***;/*****; ***;*****; 最低价成交 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;采购方式***;/*****; ***;*****; 公开竞采 ***;/*****; ***;/*****; ***;!**终止公告只需要发布时间*****; ***;*****; ***;*****;公告开始时间***;/*****; ***;*****; ********** **:**:** ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;公告结束时间***;/*****; ***;*****; ********** **:**:** ***;/*****; ***;/*****; ***;!**终止公告只需要发布时间*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;预算(元)***;/*****; ***;*****; ******.** ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;项目预算是否含税***;/*****; ***;*****; 国产含税 ***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="********"***; ***;** ***;备注***;/*****; ***;** *****="*******" *****="**********:****"***;***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/********; ***;!**竞价采购明细开始*****; ***;*** *****="*****:***%; ********: ********;********: ******;"***; ***;*** *****="*****************"***; ***;***** *****="*********" *****="************:*****;*****: **.*%;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*****; ***;** *****="*****: ****;" *******="*"***;采***;**/***;购***;**/***;明***;**/***;细***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="***********" *****="****************: #******;*********: ****;***********: ****;"***; ***;** *****="*****: ****;"***;序号***;/*****; ***;*****;名称***;/*****; ***;*****;数量***;/*****; ***;*****;单位***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="*******"***; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;无掩膜紫外光刻机***;**** *****="*****:***;"***;（核心货物）***;/*******;***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;套***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *******="*" *****="*******: *;*************:***;"***; ***;***** *****="**************" *****="*****: **.*%;************:*****;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="***%"***; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;是否接受进口***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;拒绝进口***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;品牌***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;赫智科技、亿拓光电、复享光学***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;型号***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;********* ***** *** ***(***)、************、**.***.*****;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*.*光刻精度：***;**/***;至少支持两个光刻镜头：***;**/***;光刻镜头*：最小线宽****;**;*.* ****;*****;*，工作距离****;**;* **；***;**/***;光刻镜头*：最小线宽****;**;*.* ****;*****;*，工作距离****;**;* *****;**/***;*********** ********：***;**/***;******** ** ***** *** *********** ******：***;**/***;*********** **** *：***;**/***;******** *************;**;*.* ****;*****;*，******;**;* **；***;**/***;*********** **** *：***;**/***;******** *************;**;*.* ****;*****;*，******;**;* *****;**/***;*.* 套刻指引：支持实时光刻图形的预览功能***;**/***;******* ********** **********：******** *******, *** ********* **********;**/***;*.*支持激光主动对焦***;**/***;******* ********* ***** ***********;**/***;*.* 支持光刻镜头电动切换***;**/***;**** ********* *********;**/***;*.*曝光波长：*******;******;* *****;**/***;******** **********：*******;******;* *****;**/***;*.* 数字掩模板分辨率：****;**;**** * *******;**/***; *** **********：****;**;**** * *******;**/***;*.*显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性***;**/***;*********** ***********：******** *********** *********** ******* ******* **************;**/***;***************;**/***;*.* 光刻镜头电动切换时间：****;**;*** **；重复定位精度：****;**;*** *****;**/***; ******** ** ** *********** **** *****：****;**;*** **；************* ********：****;**;*** *****;**/***;*.* 最大样品厚度：****;**;** *****;**/***; ******* ********** ****** *********：****;**;** *****;**/***;*.** 最大样品尺寸：****;**;*** ** * *** *****;**/***;******* ********* *********：****;**;*** ** * *** *****;**/***;*.** 样品电动旋转：电动样品旋转台，行程****;**;****;******;******;***;，步进精度****;**;*.*******;***;***;**/***; ******** **********：******** *****，*********;**;****;******;******;***;，************;**;*.*******;***;***;**/***;*.**样品吸附：支持样品吸附***;**/***;****** **********： ******* *** ****** *************;**/***;*.**设备软件：支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示***;**/***;********： ************ ********* ***** *** ***** ******** ************、**********;**/***;**********、********* **************;**/***;*.**画图软件：支持阵列画图、套刻画图***;**/***;************ ******** *** ******* ********： ****** ***** *** ***** ********、****** ********;**/***;*** ******* ***********;**/***;*.**湿度控制：支持设备内部湿度控制***;**/***;******** *******： **************** ****** *************;**/***;*.**软件操作界面支持中英文双语***;**/***;*** ******** ********* ********* ******** **** ******* *** **********;**/***;*.***.** 防震保护要求：鉴于实验室位于三楼，中标供应商必须提供隔离解决方案，能够有效地隔离大部分实验室振动。最为重要的是，提供的隔离解决方案必须足以确保最低器件分辨率达到 *****或者更优。 ***;**/***;********* ********** ***********: ***** *** ***'* ******** ** *** *** *****, *** ******** ** ******** ** ******* ** ********* ******** ******* ** *********** ********* *** ******** ** ********** **********. ** ****** ********** ** **** *** ********* ******** ******** **** ** ********** ** ****** ******* ****** ********** ** **** ** ********;**/***;***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;质保*年***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*.维修响应时间：招标方报修后，中标供应商须【**】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【**】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标方代用。 *. 中标供应商售前售中售后均需能够用英语和项目负责人无障碍交流，包括书面和口头。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付**％的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前*天（自然日）通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**竞价采购明细结束*****; ***;!**竞标采购明细开始*****; ***;!**竞标采购明细结束*****; ***;!**采购公告结束*****; ***;!**延期公告开始*****; ***;!**终止公告结束*****; ***;!**成交公告开始*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;