高真空电子束复合热蒸发镀膜机采购公告
2026-07-28
广东/深圳 招标采购
高真空电子束复合热蒸发镀膜机采购公告
广东/深圳-2026-07-28 00:00:00
广东/深圳-2026-07-28 00:00:00
***;!******* *******; ***;**** *****:*="***:*********************:******:****"***; ***;**** *****=""***; ***;**** **********='************' *******='****/****;*******=*****'***; ***;!**以下注释的代码是****转****时用 默认***版视图 , 造成样式不一致,加上下面这段则是页面视图 ** **** ********** *****; ***;!**[** *** *** *]***; ***;******; ***;*:***************; ***;*:*******;********;/*:*******; ***;*:***********************/***; ***;*:****************; ***;*:***************/***; ***;/*:****************; ***;/*:***************; ***;/******; ***;![*****]*****; ***;***** ****="****/***"***; *****.********* { ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ************: ***; ************: #******; ***************: ********; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; *********: ****; } *****.********* ** { ************: ***; *******: *** ***; ************: *****; ************: #******; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; } **{ **********: **********; } .********{ ***********: ******; *********: ****; } **{ **********:*********; } .******* **{ ****************: #****** !*********; } *****.********* **{ *********: ****;} **{**********: ****;} .****** **{ **********: ****; *******:*** *; *********: ****; } **.*********{ ***************: *********; ***********: ******; } .*********** *{*********: ****;} .*****{ **********: **** !*********;} .******** **{*************:**** !*********; } .**********{ ******: *** ***** #******; ************: ****; ******: *******; **********: **********; *****:****; **********: ******; *****: ****; /*********: ********; ***:***; ******: ***;*/ } .*****************{ /* ********: ********; ****:****; *****:*; *******: ************;*/ ********: ******; } *****.**************,*****.************{ ***********: *******, *****, **********; *********: ****; *****: #******; ***********:*; ******: *; **************:*; } *****.************** **,*****.************ ** { *******: *** ***; ****************: #******; **********: ******; *********: ****; **********: **********; ************:****; *************:**** ; } .*********{ ***************: *********;} .*****{ *******: ************;*******:* ****;} *****.************** **:*********** **{**********:****; } *****.************** ** **:***********{***********:****;} *****.************ **:*********** **{**********:****; } /******.************ **:*********(*) **{**********:****; }*/ *****.************ **.************ **{***********:****; } ***;/********; ***;/*******; ***;*******; ***;** *****="**********: ******;"***; 南方科技大学****;****; ****;****; ********************* 竞采采购公告 ***;/*****; ***;!**采购公告模板开始*****; ***;***** *****="*********" *****="*****:***%; ************:*****;"***; ***;***********; ***;*** *****="***"***; ***;/***********; ***;********; ***;*****; ***;*****;项目名称***;/*****; ***;*****; 高真空电子束复合热蒸发镀膜机 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目编号***;/*****; ***;*****; ********************* ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;项目类型***;/*****; ***;*****; 货物类 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;成交方式***;/*****; ***;*****; 最低价成交 ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;采购方式***;/*****; ***;*****; 公开竞采 ***;/*****; ***;/*****; ***;!**终止公告只需要发布时间*****; ***;*****; ***;*****;公告开始时间***;/*****; ***;*****; ********** **:**:** ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;公告结束时间***;/*****; ***;*****; ********** **:**:** ***;/*****; ***;/*****; ***;!**终止公告只需要发布时间*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;预算(元)***;/*****; ***;*****; ******.** ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *****="*******"***;项目预算是否含税***;/*****; ***;*****; 国产含税 ***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="********"***; ***;** ***;备注***;/*****; ***;** *****="*******" *****="**********:****"***;***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/********; ***;!**竞价采购明细开始*****; ***;*** *****="*****:***%; ********: ********;********: ******;"***; ***;*** *****="*****************"***; ***;***** *****="*********" *****="************:*****;*****: **.*%;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*** *****="**%"***; ***;*****; ***;** *****="*****: ****;" *******="*"***;采***;**/***;购***;**/***;明***;**/***;细***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="***********" *****="****************: #******;*********: ****;***********: ****;"***; ***;** *****="*****: ****;"***;序号***;/*****; ***;*****;名称***;/*****; ***;*****;数量***;/*****; ***;*****;单位***;/*****; ***;/*****; ***;** *****="*******"***; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;高真空电子束复合热蒸发镀膜机***;**** *****="*****:***;"***;(核心货物)***;/*******;***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;****;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;套***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;** *******="*" *****="*******: *;*************:***;"***; ***;***** *****="**************" *****="*****: **.*%;************:*****;"***; ***;*** *****="**"***; ***;*** *****="***%"***; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;品牌***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;微纳真空、宏川真空、华析科技***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;型号***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;********、********、**********;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*. 真空腔室:要求采用***不锈钢材质,腔室直径不大于****;***;*****,高度不小于*****,要求双层水冷,至少配一套方便拆卸的防污板; ***;**/***;★*. 真空系统:包含一台分子泵和一台前级泵,分子泵抽速****;**;******/*,前级泵抽速****;**;** **/*,预留可升级为低温泵组的真空接口; ***;**/***;*. 真空极限:优于*.*****;*****;******;***;**/***;*. 抽速:抽至**********;**;*****;***;**/***;★*. 基片台:有效镀膜尺寸不小于*英寸方片,配一体式全尺寸挡板,挡板尺寸****;**;*****,要求磁流体密封;基片台需要设计旋转,转速不少于****转/分且可自行调整,要求磁流体密封;衬底需设计加热,最高温度***℃,预留升级替换为基片台水冷的真空接口;***;**/***;*. 电子束蒸发源:*型电子枪一支,枪功率不小于***,配*穴直冷式坩埚,坩埚配有电动防污挡板,具有高压灭弧自动复位功能;***;**/***;★*. 热阻蒸发源:不少于两组热阻蒸发源,各源均独立,采用陶瓷绝缘结构,源间有隔板,源上有气动水平打开式挡板,高度可调,要求磁流体密封;蒸发电源功率不小于*.***,电流显示精度*.**,要求具备粗调微调功能;***;**/***;*.膜厚控制系统:采用进口品牌薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚,*只水冷探头;膜厚仪速率显示分辨率****;******;*.***ā/*,厚度显示分辨率****;******;*.****ā;***;**/***;★*. 操控系统:***+触摸屏手自一体操控系统,真空系统的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效;***;**/***;**.报警保护:缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、智能防误操作逻辑保护等;***;**/***;**.其它:配齐该镀膜设备的外围设备:冷却循环水机*台,静音气泵*台,所需试验蒸镀材料;保证设备就位后即能开展工作。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*年质保***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;维修响应时间:提供设备报修电话及联系人,招标人报修后,【**】小时内响应,【**】小时内派员上门现场维护,并在【**】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付**%的货款。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前*天(自然日)通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**竞价采购明细结束*****; ***;!**竞标采购明细开始*****; ***;!**竞标采购明细结束*****; ***;!**采购公告结束*****; ***;!**延期公告开始*****; ***;!**终止公告结束*****; ***;!**成交公告开始*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;



