磁控溅射镀膜机设备采购采购公告
2026-07-28
广东/深圳 招标采购
磁控溅射镀膜机设备采购采购公告
广东/深圳-2026-07-28 00:00:00
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***;*****; ***;* *****="******"***;是否接受进口***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;拒绝进口***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;品牌***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;光拓、昭明、聚盛***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;型号***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*****、*****、*********;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;技术规格及参数***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*、底盘结构***;**/***;*.* 采用铝型材搭建或焊接式框架,外观要求氧化处理或喷漆。***;**/***;*.* 底部带有轮子,可推动,并带有可调节高度的支脚。***;**/***;*.* 带有机械旋转手臂,有多角度调节操作界面。***;**/***;*、基片架结构***;**/***;*.*一个*********;*****;*****的基片托盘,可负载*英寸及以下基片,每个腔体*套,共*套。***;**/***;*.*电机驱动实现连续旋转,最大转速可达**转/分钟,通过磁流体与基片托盘连接。***;**/***;*.*每套腔体配有二个电动控制挡板。***;**/***;*、溅射源***;**/***;*.* 共*组磁控溅射源,*套直流电源、*组射频溅射电源,其中射频电源内置有匹配器,可溅射常见金属及金属氧化物材料。***;**/***;*.* 每套腔体*个(*套合计*个)*英寸靶头,每个溅射靶头均采用水冷式结构,以便可以长时间溅射。***;**/***;*.* 溅射靶头角度可调节。***;**/***;*.* 直流电源溅射:******;射频溅射电源功率******。***;**/***;*、自动化控制软件***;**/***;*.* 采用触摸屏控制模式,相关的操作均在触摸屏界面完成。***;**/***;*.* 控制软件高集成,触控界面可实现对机械泵、分子泵、真空阀、放气阀阀门、托盘转速等精确控制切换。***;**/***;*.* 屏幕实时监测并显示分子泵状态、膜厚、温度、真空度、镀膜厚度、晶振寿命。***;**/***;*.* 带有一键自动溅射功能,对于常用镀膜材料,如单质金属、单气路溅射,软件设置好所有材料的相关参数,即可完成抽真空,电机旋转,开关挡板,溅射镀膜等所有动作。***;**/***;*、膜厚控制系统***;**/***;*.* 共*个标准晶振传感器,均为水冷式。***;**/***;*.* 晶振探头,膜厚仪探测参数可以实现显示在控制屏幕界面,可显示晶振片寿命数据。***;**/***;*.* 膜厚速率显示精度在*.***/*。以**为例,*****,膜厚不均匀性****;**;*%。***;**/***;*、真空室***;**/***;*.* 真空室由不锈钢制成,尺寸****;**;*********;*****;*********;*****;*****,装有基础结构和挡板的固定装置,以及溅射靶头、真空泵、样品盘等装置。***;**/***;*.* 真空腔体配备两个可以完全打开的门,前门为平移门,通过与直线导轨,滑块等装置连接,可使前门左右开启与关闭,在手套箱内部操作前门开关,确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中,配备*个观察窗;后门为旋转门,通过旋转轴实现后门的开关,开启后腔体内部完全暴露在空气中,主要的目的为方便维护,并配*个观察窗。***;**/***;*.* 腔体极限真空****;**;*****;*****;******,从常压到*****;*****;******不超过*****(氮气)。***;**/***;*、真空系统***;**/***;*.* 前级泵的抽速****;**;****/*。***;**/***;*.* 主泵采用抽速****;**;****/*的分子泵。***;**/***;*.* 主泵和腔室之间安装有电动蝶阀,通径****;**;*****。***;**/***;*.* 自动抽气控制。***;**/***;*.* 配有前级管路阀门及阀门连接件。***;**/***;*.* 真空室配真空计,测量范围为大气至********。***;**/***;*、惰性氛围箱体***;**/***;*.* 共*个不锈钢箱体,尺寸分别为****;**;******(长)****;*****;*****(宽)【匹配磁控溅射镀膜机部分*****宽】****;*****;*****(高),材质为******不锈钢,厚度****;**;***。***;**/***;*.* 共两个可拆卸的安全玻璃视窗,倾斜设计的操作面,钢化玻璃厚度****;**;***,视窗与箱体之间的密封使用的双层无泄漏密封技术。***;**/***;*.* 整个箱体泄漏率(*.*****%/*),***<****,**<****。***;**/***;*.* 高效气体纯化系统:氧气和水的吸附量分别为****;**;****和****;**;***,吸附饱和后可再生。***;**/***;*.* 配有箱体背部预留对接口四个,其中两个分别对接磁控溅射镀膜机*段和*段,另外两个预留备用。***;**/***;*.* 真空泵*台:流量****;**;****/*,配有油污过滤器。***;**/***;*.* 氧分析仪*台:燃料电池探头,测量范围:*********,精度*.****,允许偏差范围**.****~*.****。***;**/***;*.* 水分析仪*台:氧化铝探头,测量范围:**℃到****℃,精度*℃,允许偏差范围**℃~*℃。***;**/***;*.* 设备可与实验室其他手套箱设备对接整合,原设备*型腔室尺寸为*******(上宽)***(下宽),包括*型腔室法兰的切割、切割后磨平与重新焊接,承担全部对接整合及安装调试的一切费用,并保证对接后的气密性。***;**/***;*.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;质保期***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;*年***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****; ***;* *****="******"***;售后要求***;/****; ***;/*****; ***;*****; ***;* *****="****"***;提供 * 年保修,且免费上门安装与操作培训。在保修期内,一旦发生质量问题,投标人保证在接到通知**小时内赶到现场进行维修。***;/****; ***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;付款方式***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同生效并甲方收到乙方开具相应发票之日起(**)个工作日内支付合同总额的(**)%作为进度款。甲方应在货物交付、安装调试、试运行及验收合格之日起(**)个工作日内向乙方支付本合同价款总额的(**)%。***;/*****; ***;/*****; ***;*****; ***;*****;交货期***;/*****; ***;** *******="*" *****="**********: ****;"***;合同签订后**天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前*天(自然日)通知送货***;/*****; ***;/*****; ***;/********; ***;/******; ***;/******; ***;!**竞价采购明细结束*****; ***;!**竞标采购明细开始*****; ***;!**竞标采购明细结束*****; ***;!**采购公告结束*****; ***;!**延期公告开始*****; ***;!**终止公告结束*****; ***;!**成交公告开始*****; ***;!**成交公告结束*****; ***;/*******; ***;/*******;
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