重庆理工大学超精密时栅伺服精度验证及角度基准器原型系统公示

一、项目信息

采购人：重庆理工大学

项目名称：重庆理工大学超精密时栅伺服精度验证及角度基准器原型系统

拟采购的货物或服务的说明：国家计量基准是国家最高测量依据，体现一国最高测量能力，各国角度基准普遍受核心测量器件工作原理制约，性能已达极限，** 年来未再提升。时栅位移传感技术由项目组原创提出并命名，拥有完全自主知识产权。**** 年 ** 月，项目组研制出的纳米圆时栅，经我国最高法定计量机构 —— 中国计量科学研究院等三方联合测试：超高精度纳米时栅角度基准装置在任意 ***° 量程内，精度为 ±*.***″，重复性 *.***″，分辨力 *.***″。 为了解决国家角度基准装置无自主核心技术这一现状，项目组在前期 ** 多年时栅研究基础上，提出了基于空间关联约束传感的超精密角度计量新原理，发明了基于精度自学习与迭代进化的角度基准标定新方法，攻克了大尺寸传感器件跨尺度制造、同心双旋转轴复合运动控制和信号处理智能化等关键技术，实现了角度基准装置核心性能指标的重大突破。上一代超高精度纳米时栅角度基准装置以纳米圆时栅为被测件，转台反馈器件为光栅编码器。**** 年项目组获重大创新平台能力提升项目（项目号：**********）支持，拟研制下一代超精密时栅伺服精度验证及角度基准器原型系统，该系统将纳米圆时栅作为基准装置的反馈部件，实现对其他编码器的标定和测量，且测量精度在上一代基准装置的基础上进一步提高。 以上指标对系统的性能指标提出了严苛的要求，需要具备超高精度回转轴系、纳米级驱动电机、超精密驱动控制，并能够实现与时栅传感器进行通讯。此外，为了实现项目组所提出的基于空间关联约束组合测量和精度迭代进化的角度标定新方法，还要求转台具备内外双轴能够单独旋转或联锁内外双轴同步旋转的功能，同时为避免线的缠绕还需要添加滑环等组件。经多方调研，国内暂无成熟产品，国外同类产品价格高、采购周期长，且无法个性化定制。最终调研发现，中国工程物理研究院机械制造工艺研究所具备超精密真空预载气浮支承设计与优化、高精度零部件制造工艺及装配、纳米级压电马达驱动控制等技术，前期已为中国计量科学研究院成功研制出亚秒级高精度角度测量转台，作为国家角度基准装置使用。该所设计的亚秒级超精密圆时栅校准系统，实现了超精密定位与高稳定测量。经双方协商，该所提供的超精密时栅伺服精度验证及角度基准器原型系统总体技术方案，各项指标均达到使用要求，并能实现与时栅传感器的通讯，且价格适宜，定制周期短。为全面支持项目的开展，特申请向该所订购该原型系统，打造核心部件全国产化的世界顶尖国家角度基准装置。

拟采购的货物或服务的预算金额：￥*,***,***.**元

采用单一来源采购方式的原因及说明：*、该设备为重庆理工大学时栅技术团队采用自主知识产权技术高度定制开发全功能定制设备，深度嵌入我校自主知识产权的“纳米圆时栅传感器”测量技术，完成实际工况下成套设备的测量和标定等科研工作，具有唯一性，故申请单一来源方式采购。 *、该设备的采购申请符合《重庆市单一来源采购申报及审批管理规定》中的第二条中第一款之规定，具有专有技术的需求，特申请单一来源方式采购。 *、中国工程物理研究院机械制造工艺研究所作为唯一授权委托代理商进行采购和纳税服务。 *、中国工程物理研究院机械制造工艺研究所设计的上一代亚秒级超精密圆时栅校准系统，实现了超精密定位与高稳定测量。 *、已经完成了时栅传感器与转台控制系统的通讯，初步测试了时栅传感器作为转台控制系统反馈器件方案的可行性。

二、拟定供应商信息

名称：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

地址：四川省绵阳市绵山路**号

三、公示期限

****年*月**日 至 ****年*月*日（公示期限不得少于*个工作日）

四、其他补充事宜

五、联系方式

*.采购人

机构名称：重庆理工大学

联 系 人：施海

联系电话：***********

*.财政部门

机构名称：重庆市财政局

联 系 人：刘老师

联系电话：************

七、附件