广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)

2026-07-27

广东/佛山招标采购

广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)
广东/佛山-2026-07-27 17:56:00

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
*	涂胶显影机	标的名称：涂胶显影机标的数量：* 主要功能或目标：用于半导体微纳制造工艺中的光刻配套环节。目标：实现从增粘处理、前烘、涂胶、显影到后烘坚膜的全流程自动化连续作业。满足研究院在半导体器件研发的关键工艺需求，保障涂胶均匀性及关键尺寸（*）的精准控制，提升产线整体良率与运行效率。需满足的要求：、涂胶均匀性要求片内、片间及批次间σ均小于%；、热板温度精度需达±.℃，、系统搬送可靠性需通过***片无报警测试，晶圆破损率低于/*****	落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况	,,.	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

****年**月**日