广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)

2026-07-27

广东/佛山招标采购

广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)
广东/佛山-2026-07-27 17:55:59

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
*	低压化学气相沉积系统	标的名称：低压化学气相沉积系统标的数量：* 主要功能或目标：用于英寸及以下尺寸硅片沉积薄膜，同时支持氧化、退火等关键工艺，满足半导体制造中薄膜制备与表面处理需求。目标：实现高精度薄膜工艺控制，确保设备稳定运行（正常运行时间≥%，平均无故障时间≥**小时），输出符合半导体工艺标准的薄膜（如厚度、均匀性、应力等指标）。需满足的要求：、硅片兼容性：支持英寸圆硅片（兼容英寸）、温度控制精度±.° 、压力控制：工作压力范围******** 、符合*标准，支持接口（* /***协议）	落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况	,,.*	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

****年**月**日