广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)

2026-07-27

广东/佛山招标采购

广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)
广东/佛山-2026-07-27 17:55:59

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
*	离子注入机	标的名称：离子注入机标的数量：* 主要功能或目标：功能：利用加速器将掺杂元素（如硼、磷、砷等）电离成离子束，通过磁分析器筛选后，在真空中将离子精准加速并注入到硅晶圆内部，以精确改变半导体材料的电学性能（导电类型和电阻率）。目标:逻辑芯片制造、存储芯片制造、模拟芯片管）及*****（金属氧化物半导体场效应晶体管）等器件、材料改性等需满足的要求：.适用晶圆尺寸：英寸直径***晶圆 .晶圆翘曲度：应≤****。 .注入剂量均匀性：片内与片间均应≤.% .注入剂量重复性≤.*%	落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况	,,.	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

****年**月**日