广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)

2026-07-27

广东/佛山招标采购

广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向(交易公告)
广东/佛山-2026-07-27 17:55:59

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
*	步进式光刻机	标的名称：步进式光刻机标的数量：* 主要功能或目标：提升半导体制造及研发领域的高精度图形转移能力。目标：确保高精度层间套刻能力，能适配硅、化合物半导体等多种衬底材料的晶圆加工。需满足的要求：、最小分辨率应≥.***；、不低于**片/小时的量产效率及高精度层间套、支持常规及环形照明模式、符合*/通讯标准。、需满足**小时连续运行稳定性要求，确保安全合规与长期可靠运行。	落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况	*,,.	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制造技术研究院

****年**月**日