2026年8月(至)9月采购意向项目-1
2026-07-27
北京/北京 招标采购
2026年8月(至)9月采购意向项目-1
北京/北京-2026-07-27 00:00:00
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****年*月(至)*月采购意向项目**
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政府采购意向公告北京理工大学****年*月(至)*月采购意向项目**政府采购意向为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将北京理工大学 ****年*月(至)*月采购意向项目**采购意向公开如下:序号采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购时间备注*北京理工大学房山分校(阎村)*********年冬季采暖液化天然气采购*********液化天然气供应商提供液化天然气,满足北京理工大学房山分校(阎村)*吨承压热水锅炉在供暖季期间不间断**小时正常运行,供暖面积为*****平方米,本项目服务时间计划为****年**月*日至****年*月**日(***天),具体采暖时间按照学校通知执行。***********量子自旋微机电水听器传感元件第二轮工艺开发与制备*********工程和技术基础科学研究服务*.采购标的需实现的主要功能和目标: 本次加工制备的量子自旋微机电水听器传感元件是水听器系统的核心敏感组件,其核心功能与目标如下:依托北京理工大学提供的晶圆衬底,完成** *磁传感器芯片的正面磁隧道结刻蚀、背腔深硅刻蚀、低温低压键合关键工艺开发与样片制备,制备出具备完整密封空腔结构的样件,在微**********
小物理尺寸内集成敏感结构与接口,满足阵列化布设或水下无人平台对元件紧凑性、低功耗及良好一致性的要求。 *.采购标的数量 本次微纳加工服务制备量子自旋微机传感晶圆*批。 *.采购标的需满足的质量、服务、安全、时效等要求 *. 质量要求传感元件的关键工艺技术指标: *.优化晶圆正面** *磁隧道结的图形化刻蚀工艺,实现** *隧道结的基础制备;其中关键设备工艺要求如下:*****非均匀性优于±*%,沉积温度<***°*;***刻蚀****硬掩模,可控制过刻<**%;关键***层***刻蚀,配备元素终端检测功能,可控过刻<*%;底电 极***刻蚀****硬掩模,可控过刻<**%;顶电极材料 :**/**电极,膜层厚度精度±*%; *. 优化晶圆背腔深硅刻蚀工艺,实现衬底硅刻蚀,制备出符合设计尺寸要求的背腔结构;其中****刻蚀**:****选择比 优于***,侧壁倾角优于**°; *. 优化背腔低温低压键合首轮工艺开发与验证,实现空腔的密封封装,在低温、低压工艺条件下完成键合。实现背腔压 强 与 外 界 平 衡 , 封 装 温 度≤***°*; *. 工艺 情况提供***、膜厚仪 、椭偏仪 、台 阶仪 、***、显微照片 测试 数据作为验收 依据。 *. 服务要求 技术交付 :供 货方须提供完整的工艺 测试 数据 报告。 质 保与售后 :提供不 少于**个月的质量保证 期(自 验收 合格之 日起算)。质保期内因元件自 身质量 问题导 致的 故障 ,供方应 负责免费维修或更换 。 技术 支持:供方需提供必要的现 场/远程技术支持 。 *. 安全要求 环境 安全:元件材料 应符合****等环保 标准,在 生命周 期内无有毒有害物质 释放风险。静电防护 :所有元件 交付 时须采用防静电包装 与操作防护 提示。 *. 时效要求 供 货周 期:合 同签订后,供 货方
须在***个工作日内完成*批晶圆 生产、测试 与交付 。 交付验收:按批次交付 至采购方指定地点 ,采购方在收到货后**个工作日内完成数量清点与性能 抽检 ,验收 标准以 技术 协议 为准。本次公开的采购意向是本单位 政府采购工作的初步 安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。北京理工大学**********
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