*. 电力系统*套、大宗气体与特气系统*套、抽真空系统*套，排风系统*套，冷却液系统*套，各系统均需适配*套*** ****深硅离子刻蚀系统。 *. 功能及目标：各分项系统协同运行，为半导体设备*** ****深硅离子刻蚀系统提供稳定支撑，整体保障平台长期、高效、安全运行，适配半导体工艺施工标准。 *. 技术、服务及安全要求：技术上符合二次配相关标准，适配各设备运行参数；服务供货、安装、调试与试运行、技术交底及售后保障；安全上符合电气、气体、压力等安全规范，杜绝泄漏、故障等安全隐患。 *. 交付及实施：时间为合同签订后**个工作日内完成所有分项系统的供货、安装及调试；地点为南京邮电大学集成电路学院浦口办学点。

各系统外观规范、运行稳定，性能达标；提供完整竣工资料及测试报告；符合国家及行业安全规范，经双方现场验收合格后签署验收文件。