标的名称：紫外电子束蒸发镀膜机

标的数量：*

主要功能或目标：设备专为从深紫外（***，低至*****）到红外（**） 的全波段光学薄膜镀制而设计。通过特殊配置（如优化的光学监控路径），可实现对***********深紫外波段镀膜过程的直接监控，通过其标志性的***等离子体源提供离子辅助沉积，可以显著提升膜层的致密度、附着力和稳定性。为团队紫外镀膜方向提供重要设备支撑。

需满足的要求：配备***和****双电子枪，适配不同熔点材料。******等离子体源支持离子辅助沉积。*** ****（**********）与晶振监控，深紫外可扩至*********。高性能泵组配合冷阱，实现快速循环。陶瓷加热器最高***℃恒温烘烤。可实现*****双面透＞**%、*********透＞**.*%、*********反射＞**%。