等离子增强原子级生长设备采购意向公示new
2026-07-21
上海 招标采购
等离子增强原子级生长设备采购意向公示new
上海-2026-07-21 00:00:00
上海大学
等离子增强原子级生长设备 采购意向公示

为便于供应商及时了解采购信息,现将我校快速采购意向公开如下:

*、项目概况:

(*)拟采购方式:上大迅采

(*)采购项目名称:等离子增强原子级生长设备

(*)预算金额:**万元

(*)采购需求概况:

等离子增强原子级生长设备*套,用于高深宽比器件制备,配套场效应迁移率大于** **²/(*·*)的********(铟镓锌氧薄膜晶体管)工艺,台阶覆盖率:>**%,工艺前后新增颗粒(直径≥*.*μ*)数量≤*.*个/***。质保期不低于一年。供货周期:收到采购人通知后**天内送至指定地点。

(*)预计采购时间:****年*月

(*)采购意向公示时间:********** ~ **********


*、联系方式:

采购人名称:上海大学

联系地址:上海市上大路**号

用户单位联系人:杨军

联系电话:***********

采购代理机构:上海机电设备招标有限公司

联系人:王欣怡、陈瑞麟、邓澍

联系电话:********、********、******** ****@*****.***

联系地址:上海市长寿路***号**楼

采招中心监督员:谢金印

监督电话:******** ****


本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。


上海大学

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