*、***** ******/*/*移动范围: *****/*****/****，移动分辨率*µ*，带锁死功能， *、***** *****支持多圈吸附环固定样品，真空吸附，真空开关独立控制，支持***°无间隙旋转，微调±*° *、样品台支持样品尺寸最小***, 温度范围**℃到**℃，温度稳定性*.*℃。 *、芯片检测系统在 ***平面***** * *****，范围内移动分辨率*μ* *、芯片检测系统能够双视觉观察，连续调焦，能够同时观察三维视场，清晰观察样品和光电探针的各视角，分辨率*µ*，综合放大倍率≥***倍 *、芯片检测系统传感器光学尺寸:*/*.*英寸，像元尺寸:*.*μ***.*μ*，测量精度:*.******，具备功能:拍照、录像、储存、测量镜像、画面冻结、水平翻转、***宽动态、电子放大缩小。 *、******具备分立抬杆，快速接触和分离，重复精度*µ* *、******兼容太赫兹倍频针座和探针，可实现整体连续上下微调移动，行程不小于****，移动分辨率*µ*，便于光电探卡的测试。 *、器件兼容垂直光电芯片和水平光电融合芯片的探测，配备水平和垂直光探针及配套夹具，测试稳定性*.*** 的，能够支持装机验证。

*、现货中标，中标后*天提供货物； *、实现实验室手动光学测量平台集成，并现场调试； *、按照行业标准提供上门服务；