*最高温度 ***℃，长期使用温度 ***℃以内，升温速率最大 **℃/***， 二段加热，恒温区长度 *****， 恒温区控温精度±*.*℃ *石英尺寸内径 *****,壁厚 ***,外径 *****,长度 *****. * 衬底机构实现 *** 英寸生长为主，兼容小片（最小尺寸 *******）。 * 衬底可以旋转，转速 *.*****/***. 所有转速均为可稳定实现转速 * 配备两路进气系统及质量流量计，**流量设计值**/***，氮气流量设计值**/***。气体精度：重复性***;=设定值的 *.*%；可控工作范围 ***;= 全量程的 *%~**%。 * 整个腔体：石英接触的上下水冷法兰及衬底托盘为哈式合金材质。 *除排气管道外，进气管路全部为 **** * 衬底与进气喷头之间可调节距离≥****。

*按行业标准提供服务； *售后质保期不低于一年。