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项目名称：电子束直写系统（第三次）

招标项目编号：*****************

招标范围：电子束直写系统 *套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）

招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司

招标人：乾元国家实验室

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：