*. *. 极速升降温能力 设备需具备主动冷却功能，最大升温速率 ≥***°*/***，最大降温速率 ≥***°*/***。 *. 高级程控存储能力 控制系统需支持存储 ≥**个 独立工艺程序，且每个程序可编辑步骤 ≥**步；支持***或**卡数据导出。 *. 紧凑型台面设计 主机尺寸需紧凑以适应有限实验台，要求：宽度 ≤*****，深度 ≤*****，高度 ≤*****。 *. 真空与气氛配置 极限真空度 ≤**⁻* ***；标配 *路氮气(***) 质量流量控制气路；含真空泵及真空阀组控制单元。 *. 交付与售后 合同签订后 **周内 交货；提供 **个月 质保。