图形化直写显微制备分析系统

2026-07-09

广东/广州招标采购

图形化直写显微制备分析系统
广东/广州-2026-07-09 00:00:00

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中山大学柔性电子学院图形化直写显微制备分析系统采购项目

发布时间： ********** **:**

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	中大招（货）[**]*号
项目名称	中山大学柔性电子学院图形化直写显微制备分析系统采购项目
申购主题	图形化直写显微制备分析系统
项目类型	货物采购	项目预算	***
最高限价	*,.*(人民币)
报名及响应开始时间	******** :**	报名及响应结束时间	******** :**
采购单位	中山大学
经办人	王老师	经办人电话	********
期望收货时间	合同签订后**天内交货
是否送货	是	送货地址	深圳市光明区新湖街道中山大学理学园***室
电子签章	本项目需要使用签字操作手册下载
备注	、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。、本项目学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。、本项目需要使用证书，请供应商根据指引（*://***.../****/）提前办理证书。、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。、项目评审时，如有属于异常低价报价的情形（见报价须知），评审小组将启动异常低价报价审查程序。★投标人需声明：我单位所投产品不属于***年月日财政部发布关于在政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接***://.*../*/**/**************.*）。

| 采购明细

* 采购设备	图形化直写显微制备分析系统
数量	*台
参考品牌

“图形化直写显微制备分析系统”技术要求

序号	技术要求内容	评分等级	是否星号条款	是否需要附件说明
*	.光学系统：*无限远色差反差双重校正光学系统，国际标准物镜齐焦距离≤**，保证光损失效率最低。可实现观察方法：具有反射明场、暗场、偏光等观察功能；	重要	否	是
*	.光源：至少配备三颗*光源;以及个******光源；	重要	否	是
*	.调焦：谐波齿轮精细同轴粗微调焦机构，内置免调节防下滑机构，不使用易损坏的外调节松紧调节环，调焦行程 * *，可设置调焦上限。最小标示刻度≤ μ*。	重要	否	是
*	.曝光光源：≤****;	重要	否	是
*	.数字掩膜板分辨率：≥********;	重要	否	是
*	.微镜尺寸：≤.*μ;	重要	否	是
*	.最小线宽：.μ;	重要	否	是
*	.最小等间距线栅：优于μ*；	重要	否	是
*	.套刻精度：≤*****@μ*；	重要	否	是
**	★. 至少配备个镜头：镜头：最小线宽≤μ,工作距离≥**, 镜头：最小线宽≤.μ,工作距离≥**, 镜头：最小线宽≤.μ,工作距离≥**, 镜头：最小线宽≤.μ,工作距离≥**, 镜头：*≥.，工作距离≥*，镜头：*≥.，工作距离≥.**，镜头：*≥.，工作距离≥*，镜头：*≥.*，工作距离≥.**，镜头：*≥.，工作距离≥，镜头：≥.*，工作距离≥.****，	非常重要	是	是
**	**. 对焦模式：图像自动对焦；	重要	否	是
**	**．配备气浮隔振台	重要	否	是
**	**.样品台带真空吸附套件	重要	否	是
**	**.样品台含固定样品模块：兼容方形样品和晶圆样品；	重要	否	是
**	.最大样品尺寸：≥***	重要	否	是
**	.轴电动台步进精度：优于****，	重要	否	是
**	*.轴电动台步进精度：****	重要	否	是
**	.样品最大支持厚度：≥ **	重要	否	是
**	.旋转台：可°旋转,步进精度：≤.**°；	重要	否	是
**	*.相机：大靶面显微相机（支持尺寸测量）,靶面尺寸≥英寸，像素≥****万；	重要	否	是
**	**.软件功能：原位光绘、物像绑定、畸变矫正、成像拼接等	重要	否	是
**	**. 画图软件：支持阵列画图、套刻画图	重要	否	是
**	★*. 软件配备自定义切图模块功能：（）具备矢量图形智能分块处理功能：在将版图切割为曝光写场时，支持用户自定义保护区域/关键区域。系统在切割时应自动识别并避免切割线穿过保护区域，保证关键图形结构的完整性；（需在投标文件中提供软件操作截图，清晰展示“自定义保护区域”设置窗口；且本功能需现场验收，投标方需使用采购方提供的测试版图现场进行投影曝光，要求所有关键光刻图案完整，不得出现切割导致的图形错位和断裂。） ()多任务/区域定义：支持在同一层版图中，用不同颜色定义≥个不同曝光剂量区域，并可在图形界面可视化；（需在投标文件中提供软件操作截图，清晰展示“多任务/区域定义”设置窗口；且本功能需现场验收，投标方需使用创建同时包含高剂量和低剂量测试版图，并提供系统生成的曝光日志，包含不同区域实际的曝光剂量、曝光时间、聚焦质量等参数纪录） ()软件功能：原位光绘、物像绑定、畸变矫正、成像拼接等	非常重要	是	是
**	. 图形化直写显微制备分析系统，主机，台 . 减震台，指标不低于台面尺寸： × * *，平面度≤ . /²，表面粗糙度* ≤ . μ，固有频率（阻尼型）垂直 ≈ ~* ** / 水平 ≈ ~ *，台 . 静音空压机，指标不低于功率：.***，流量.***/，个 . 无油真空泵，指标不低于流量：（/*），真空度：***，功率：.**** ，套 . 品牌计算机，指标不低于*：**** 运行内存：，固态硬盘：* ，操作系统：正版*** 位，包含主机及显示器，套 . 分析软件，光盘（终身免费升级），套 . 产品使用说明书，份 . 合格证，份 . 保修卡，*份	重要	否	是

| 资质要求

序号	要求名称	条件类型	要求内容	是否需要附件说明
*	第*条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
*	第*条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
*	第*条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
*	第*条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号	要求名称	要求内容	是否需要附件说明
*	免费保修年限（保修范围：整机保修）	年年年年及以上	是
*	合同履约	该项目必须严格按学校合同范本执行下载地址：**://.**********.:*/******/****/**/.。注意：（）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	是
*	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
*	售后服务要求	、售后三包：包换：设备的规格或质量与合同不符，自到货验收之日起日内可以更换；确属质量问题，修理二次以上仍不能正常使用的产品可以更换。包退：经确认，设备的质量存在严重缺陷，自到货验收之日起 * 日内退货。包修：在保修期内，设备质量问题维修；在保修期内，非正常使用造成的设备故障，可收取零配件成本费。、如设备出现故障等问题，在接到报修通知 * 分钟内做出维护安排。** 小时之内提供有效可行的书面解决方案。 * 、以上所含服务费用均包含在报价中，采购人不再另行支付。	是
*	培训要求	、货物安装调试及培训的工期不小于日； *、介绍每个设备的性能、特点、相互之间的关联操作等；技术人员需讲解设备的原理、功能、操作及维修保养要点；向受训人员提供和解释有关资料，使受训人员对设备的各个方面都能熟练掌握；针对设备的具体操作一一指导，使受训人员掌握技术要领。	是
*	其他	★投标人需声明：我单位所投产品不属于***年月日财政部发布关于在政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接***://.*../*/**/**************.*）。	是