项目及标段名称

****项目大尺寸等离子体增强均匀沉积组件

招标人

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

招标人联系电话

***********

招标代理机构

新华招标有限公司

招标代理机构联系电话

***********

开标地点

成都市青羊区鼓楼南街***号丰德成达中心*楼

开标时间

******** * **:**:**

公示期

****年**月**日 至 ****年**月**日

投标最高限价（元）

*******.**

中标候选人及排序

中标候选人名称

质量

工期（交货期）

投标报价（元）

经评审的投标价（元）

综合评标得分

第一名

成都超迈光电科技有限公司（/）

/

合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；****年**月**日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；****年**月**日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；****年**月**日前完成项目终验收。

*******.**

*******.**

**.**

第二名

大连齐维科技发展有限公司（/）

/

合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；****年**月**日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；****年 **月**日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；****年**月**日前完成项目终验收。

*******.**

*******.**

**.**

第三名

广东众元半导体科技有限公司（/）

/

在合同签订后两个月内完成实施方案评审；合同签订后六个月内完成工程设计方案评审与数字样机研制；****年**月**日前完成离线集成调试及出厂验收，并具备交付条件；****年**月**日前在招标人现场完成总体集成及指标测试；****年**月**日前完成项目终验收。

*******.**

*******.**

**.**

中标候选人评审结果

中标候选人排序

中标候选人名称

评标专家

商务部分得分

技术部分得分

报价部分得分

第一名

成都超迈光电科技有限公司（/）

招标人代表*

**.**

**.**

**.**

评标专家*

**.**

**.**

**.**

评标专家*

**.**

**.**

**.**

评标专家*

**.**

**.**

**.**

评标专家*

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**.**

**.**

第二名

大连齐维科技发展有限公司（/）

招标人代表*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

第三名

广东众元半导体科技有限公司（/）

招标人代表*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

**.**

评标专家*

*.**

**.**

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第一中标候选人项目管理机构主要人员（成都超迈光电科技有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

/

/

/

/

/

项目技术负责人

廖其龙

职称证

/

材料

教授

第二中标候选人项目管理机构主要人员（大连齐维科技发展有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

崔瑱瑱

/

/

/

/

项目技术负责人

郭方准

/

/

/

教授

第三中标候选人项目管理机构主要人员（广东众元半导体科技有限公司（/））

职务

姓名

执业或职业资格

职称

证书名称

证书编号

职称专业

级别

项目负责人

/

/

/

/

/

项目技术负责人

甘志银

/

/

/

教授

第一中标候选人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

普纳斯玛精密仪器(江苏)有限公司

双室高真空*****系统

********

********

双室高真空*****系统*套

*******.**

/

中国科学院兰州化学物理研究所

等离子体处理系统

********

********

等离子体处理系统*套

******.**

/

成都汉普升科技有限公司

等离子体增强化学气相沉积系统

********

********

等离子体增强化学气相沉积系统*套

*******.**

/

中国科学院光电技术研究所

大口径干法刻蚀系统

********

********

大口径干法刻蚀系统*套

********.**

/

天府兴隆湖实验室

大口径干法刻蚀系统

********

********

大口径干法刻蚀系统*套

********.**

/

北京上为电气成套设备有限公司

等离子体增强化学沉积系统

********

********

等离子体增强化学沉积系统*套

*******.**

/

第一中标候选人项目负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第一中标候选人技术负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

第二中标候选人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

大连理工大学

射频容性耦合等离子体刻蚀实验台*包等离子体真空腔体

********

********

等离子真空腔体*套

******.**

/

大连理工大学

等离子体真空系统

********

********

***等离子体真空系统*台及***等离子体真空系统*台

******.**

/

大连理工大学

射频容性耦合等离子体刻蚀实验台*包等离子体真空腔体

********

********

等离子真空腔体*套

******.**

/

大连理工大学

*****工艺腔室与架台

********

********

*****工艺腔室与架台*套

******.**

/

第二中标候选人项目负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第二中标候选人技术负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

第三中标候选人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

深圳市矢量科学仪器有限公司

武汉大学真空互联薄膜器件创新研院研发重大科学装置**包

********

********

分子束外延(***)系统*套、微波等离子体化学气相沉积系统(*****)*套、双腔室金属有机化学气相沉积系统(*****)*套、真空互联系统及设备接口改造*套

********.**

/

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

***涂层制备装置

********

********

*掺杂***涂层制备装置*套和***涂层制备装置*套

*******.**

/

湖北一半天制药有限公司

微波等离子体化学气相沉积设备

********

********

*****设备*套

*******.**

/

武汉大学

*****半导体工艺系统

********

********

*****半导体工艺系统升级*套

******.**

/

海南明日进出口贸易有限公司

微波等离子体化学气相沉积设备材料

********

********

*****设备材料**套

********.**

/

第三中标候选人项目负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

技术负责人

无

无

无

无

无

无

无

第三中标候选人技术负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/））

项目业主

项目名称

开工日期

竣工（交工）日期

建设规模

合同价格（元）

项目负责人

无

无

无

无

无

无

无

其他投标人（除中标候选人之外）的评审情况

投标人名称

投标报价（元）或否决投标依据条款（投标文件被认定为不合格所依据的招标文件评标办法中的评审因素和评审标准的条款）

经评审的投标价（元）或否决投标理由（投标文件被认定为不合格的具体事实,不得简单表述为未响应招标文件实质性内容、某处有问题等）

综合评估得分或备注

沈阳腾鳌真空技术有限公司

*******.**元(/)

*******.**元(/)

**.**

武汉博发灵动科技有限责任公司

*******.**元(/)

*******.**元(/)

**.**

附注（其他需公示的内容）

无

接收异议的联系人及联系方式

联系人：张晟

联系方式：***********

监督部门名称及监督电话

行政监督部门：中国工程物理研究院固定资产建设投资管理中心

联系方式：************

异议投诉注意事项

*.投标人或者其他利害关系人对依法必须进行招标的项目的评标结果有异议的，应当在中标候选人公示期间提出。招标人应当自收到异议之日起*日内作出答复；作出答复前，应当暂停招标投标活动。

*.投标人或者其他利害关系人认为评标结果不符合法律、行政法规规定的，可以自知道或者应当知道之日起**日内向有关行政监督部门投诉。投诉前应当先向招标人提出异议，异议答复期间不计算在前款规定的期限内。投诉书应当符合《工程建设项目招标投标活动投诉处理办法》规定。

*.投诉人就同一事项向两个以上有权受理的行政监督部门投诉的，由最先收到投诉的行政监督部门负责处理。

*.应先提出异议没有提出异议，超过投诉时效等不符合受理条件的投诉，有关行政监督部门不予受理；

投诉人故意捏造事实、伪造证明材料或者以非法手段取得证明材料进行投诉，给他人造成损失的，依法承担赔偿责任。

招标人主要负责人或其委托人签字、盖单位章：

招标代理机构主要负责人或其委托人签字、盖单位章：