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项目名称：紫外曝光系统（第二次）

招标项目编号：*****************

招标范围：紫外曝光系统 *套(含原厂光强计，光刻机专用吸片真空泵，分区曝光测试板，压缩空气过滤器。*** 光源，波长*****，*****，*****；光强计和*****探头一套；双面对准功能；自动对准功能；顶部物镜*个**；底部物镜*个**；掩模板框架*吋，*吋，*吋各一套；晶圆光刻夹具*吋，*吋，*吋，*吋各一套。具体指标详见技术规格)

招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司

招标人：乾元国家实验室

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：