*.探针台体 •样品台尺寸：*寸卡盘，样品台电学独立悬空，可接背电极 •样品固定方式：真空吸附，配置*个真空开关，可根据样品尺寸选择开关单独控制 •样品台***轴行程：*******，精度*微米 •样品台旋转：可***°旋转，粗调快速旋转带锁死，微调*.*° •显微镜固定方式：万向旋转式结构，可快速移动，便于样品定位 •尺寸：*********** •重量：约**** •**：可升级高温卡盘 *. 单筒显微镜 ****** *.探针座 •三维调节探针座 •磁力固定，开关控制 •***移动行程均为**** •移动精度为*** •带倾仰夹具，可快速调节竖直角度**° *.同轴管状夹具 ***** *.工业相机高清****万 *.探针 •国产探针系列 •针杆长度****，直径*.*** •可测电流范围****~** •针尖直径***/***/***/****/****/****/*****/***** •针长**** •钨探针，一盒**支 *.微型真空吸附泵*******

设备自交货之日起算，质量保修*年。