(AXF202600541)半导体材料专用沉积炉采购项目分散采购结果公告
2026-07-06
重庆 中标结果
(AXF202600541)半导体材料专用沉积炉采购项目分散采购结果公告
重庆-2026-07-06 00:00:00
七、其他补充事宜
无
附件：
无
重庆-2026-07-06 00:00:00
(************)半导体材料专用沉积炉采购项目分散采购结果公告
一、项目信息
项目名称：半导体材料专用沉积炉采购项目
管理部门：实验室建设与设备管理处
项目编码：************
采购方式：自行采购
二、采购单位信息
采购单位名称：西南大学
采购单位地址：重庆市北碚区天生路*号
联系人：王中长
三、成交信息
成交日期：**********
成交金额：******.**元(人民币)
成交供应商：山东晶升电子科技有限公司
供应商联系地址：山东省济南市长清区玉清路南段****号济南长清国际企业港******
四、采购小组成员名单
陈胜垚;何洪;李元
五、项目用途及合同履行日期
项目用途：科研(加急)
合同履行日期：**********
六、主要标的信息
| 序号 | 品目 | 商品名称 | 数量 | 计量单位 | 单价 | 型号 | 规格/详细参数 | 是否进口 | 品牌 | 产地 | 生产厂商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 工业锅炉 | 半导体材料专用沉积炉 | * | 台 | ***,*** | ******** | 设备结构：卧式（左进气，衬底右侧） 加热器：开合结构 工作温度：********℃，高温区：********℃，低温区：*******℃，恒温区：*****（高温区），*****（低温区） 加热段数：*段，热偶类型：*型 单点温度稳定性：±*℃/****℃/***（****℃下保持***，温度稳定性≤*.*℃） 高温区径向均一性：≤±*℃，高温区轴向均一性：±*℃，低温区径向均一性：±*℃，低温区轴向均一性：±*℃ 温度斜变能力（最大可控）：*****℃/*** 升温时间：从室温到****℃≤******** 转速****转，连续可调，转速精度：≤±***（偏心） 气路系统：采用***焊接、进口**级抛光、焊接，气体种类：**、***、**,预留一路掺杂源，气体流量精度：±*.*% *.* 真空度：优于****，保压漏率：≤****（停泵关阀*小时），真空系统：设备采用机械泵 控压：***********，控压精度：±*.***** 过滤：水冷+粉尘收集 | 否 | 山东晶升 | 中国 | 山东晶升电子科技有限公司 |
七、其他补充事宜
无
附件：
无
