非标定制，负责实验室气路的连接和改造 选配： *.真空泵抽真空接口为 **** 接口，真空泵型号：******，抽气速率：*.* */*，电机功率：*** *，极限压强：*×******（不带负载） *.水冷设备：工作电流：*.***.**，制冷量：*******/*，尺寸：**×**×****（长×宽×高），水箱容量：**，水流速率：***/*** 基本参数： *.电源：** **** ****， *.功率：＜***** *.射频电源：输入电源：**** **，输出功率：******，输出频率：**.** *** *.冷却方式：设备内部的冷却方式为水冷 *.尺寸：***（长）****（宽）****（高） *.磁控溅射头： * 英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接 *.靶材尺寸要求： φ***（*.***）** 厚 *.*英寸磁控溅射头可承受最大射频功率：**** *.非标定制高温加热台结构，溅射靶头到加热台距离可精确调节范围：********，并带有距离刻度显示。 样品台： *.加热台可旋转，为了制膜更加均匀。 *.加热台尺寸：直径 **** （最大可放置 * 英寸的基片） *.旋转速度：** ** ***（可调速） *.加热台的长期使用温度 ***℃ *.控温精度： ±**℃

按行要求原厂工程师上门安装调试和测试。*、为了保证售后服务，投标方中标后需提供原厂售后服务承诺书原件，否则视同无效； *、为保证使用要求，投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致