广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
2026-07-03
广东 招标采购
广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
广东-2026-07-03 00:00:00
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广东中科半导体微纳制造技术研究院****年**月至****年**月政府采购意向
发布机构：广东中科半导体微纳制造技术研究院发布时间：********** **:**:**
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 氧化钒溅射腔 |
标的名称：氧化钒溅射腔
标的数量：*
主要功能或目标：处理氧化钒层的高精度沉积与图形化，具备高均匀性、高台阶覆盖率的工艺能力。目标是实现高可靠性、低缺陷的氧化钒功能层结构，特别是满足先进半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）对氧化钒薄膜的高精度加工需求，用于高性能半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）的制造。
需满足的要求：*、颗粒（***;*.*μ*）, 膜内 ***;=** **（除正常晶圆外） *、薄膜应力：应小于******
|
落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
****年**月**日
