【中国国际招标网】

项目名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射+磁控溅射+金属沉积系统

招标项目编号：*****************

招标范围：*.*设备采购名称：压电/铁电薄膜沉积磁控溅射，*套，只接受全新设备。 *.*设备用途：主要用于光电、传感和铁电存储领域，实现高质量压电铁电掺杂氮化铝薄膜和配套电极材料的制备。 *.*设备作业基本流程：①装片*>②预处理*>③生长*>④取片*>⑤测试。

招标机构：中招国际招标有限公司

招标人：上海芯源创新中心

开标时间：********** **:**

公示开始时间：********** **:**

评标公示截止时间：********** **:**

中标候选人名单：