（*）匀胶系统：匀胶腔、自动滴胶臂，压力罐、*种液体管路、去边针头；（*）主轴旋转转速：********* /*；（*）转速波动精度：±****；（*）时间设定：*******；（*）自动摆臂摆动速度：****°/*；（*）出液速度：*~***%（压力罐供液）；（*）管路数量：*路胶管，*路化学去边液体管路，*路背洗管路；（*）匀胶步数：** *****；（*）配方存储：** *******；（**）匀胶均匀性：优于±*%；（**）真空吸附值：***;******；（**）上下片方式：手动上下片；（**）晶片固定方式：真空吸附；（**）供胶系统：压力罐供胶；（**）具备背洗功能（压力罐）；（**）工作平台：工作平台包括自动机械手模组、主轴旋转伺服电机、压力罐模组，真空泵等；（**）*** 控制系统：*** 控制系统具有简洁友好的操作界面、配方存储功能等；（**）夹具：**寸晶圆；(**)含*、*、*、*、**寸吸盘；

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