"*.*英寸探针台主机（可测试*寸及以下尺寸晶圆）； *.样品台平整度：±***； ★*.样品台**微调移动平台，移动行程***********，支持快速移动和精确微调式移动，微调分辨率为*μ*，无回差线性； *.样品台*方向微调升降****，微调精度为*μ*，带锁死装置； *.样品台‌θ轴粗调***°，微调±*°微调旋转分辨率*.***°，并支持卡盘快速拉出结构； *.针座平台两段式快速分离功能：行程为：*~****，快速升降：*~*****并且带锁死装置和数码千分表显； *.卡盘可以完全拉出台面，载物台单手快速移动及升降、一体化真空开关等设计，使操作流程更加简洁； *.金相显微镜可进行倍数切换，显微镜三轴调节平台：***位移行程**************，*轴支持快速升降； *.配置射频线缆，支持射频测试； **.气浮减震平台； **.可以后续改造成安装针卡测试并且支持后续改造高温测试 ★**.厂家需具备********、*******、********、********、********等质量管理体系认证； **.提供原厂质保售后服务承诺书。 **.要求测试台出厂序列号只对应本

按行业标准提供服务