五邑大学集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目的合同公告
2026-06-29
广东/深圳 中标结果
五邑大学集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目的合同公告
广东/深圳-2026-06-29 00:00:00
广东/深圳-2026-06-29 00:00:00
五邑大学集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目的合同公告
发布机构：五邑大学发布时间：********** **:**:**
项目编号：***************
一、合同编号
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二、合同名称
集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目
三、项目编号
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四、项目名称
集成电路制造与工艺实验室（二期）建设项目
五、合同主体
采购人(甲方)：五邑大学
地址：江门市蓬江区东成村**号
联系方式：************
供应商(乙方)： 普莱斯特流体科技（深圳）有限公司
地址：深圳市宝安区松岗街道沙浦社区广进路**号综合楼二 ***
联系方式：*** **** ****
六、合同主要信息
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) |
|---|---|---|---|---|
| * | 等离子增强化学气相沉积一二次配系统 | *(套) | ***,***.** | ***,***.** |
| * | 氮气柜一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| * | ******手动单瓶气瓶柜及配件 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| * | 其他配套附件 | *(批) | *,***.** | *,***.** |
| * | 单腔金属介质溅射台一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| * | 气路检测 | *(项) | **,***.** | **,***.** |
| * | ******手动单瓶气瓶柜及配件 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| * | 反应离子刻蚀机一二次配系统 | *(套) | ***,***.** | ***,***.** |
| * | *****手动单瓶气瓶柜及配件 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | 通风橱一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | 扩散炉*一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | 扩散炉*一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | 快速退火炉一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | ******手动双瓶气瓶柜及配件 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
| ** | 尾气处理系统一二次配系统 | *(套) | **,***.** | **,***.** |
合同金额： ***,***.**元，大写金额：柒拾陆万捌仟元整
履约期限：****年**月**日至****年**月**日
履约地点：五邑大学
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
****年**月**日
八、合同公告日期
****年**月**日
九、其他补充事宜
合同附件：
五邑大学
****年**月**日
