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项目名称：多功能原子层刻蚀系统

招标项目编号：*****************

招标范围：多功能原子层刻蚀系统

招标机构：中招国际招标有限公司

招标人：上海芯源创新中心

开标时间：********** **:**

公示时间：********** **:** * ********** **:**

中标结果公告时间：********** **:**

中标人：******* *********** ****

制造商：******* *********** ***

制造商国家或地区：德国