标的名称：宁波工程学院微纳研究院近原子级精度磁控溅射外延设备采购项目 
数量/单位：*批 
预算金额（元）：*******.** 

采购目录：*********电气物理设备 

需实现的主要功能或者目标：实现在* 英寸及以上基底上实现近原子级精度、高致密薄膜生长的能力，彻底打通大尺寸单晶薄膜制备的技术堵点。 

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 本项目软硬件设备均须符合国家现行最新标准，整体运行稳定、安全可靠。硬件设备应支持*英寸基底的镀膜制备，结构设计合规、防护性能优良，使用寿命满足长期教学与科研使用需求。基片加热室温~****℃可调，配备≥*个靶位（含液态靶枪），兼容**/**电源及反应溅射等多模式。；应商须全程配合完成实验室场地规划、设备物流运输、安装调试及整体布局优化等全流程工作。培训方面，须提供覆盖不同岗位需求的分层师资培训服务，并配套交付完整的教学资料、实验指导书及典型工程案例资源。售后保障方面，须建立完善的运维响应机制，确保平台在后续教学、实训及科研工作中长期稳定运行。； 项目建设严格遵循国家及浙江省关于实验室安全与机械设备安全的相关规范标准。设备本身配备完善的机械防护与电气安全联锁装置，有效保障实训操作人员的人身安全。在信息化层面，系统具备规范的网络安全防护、分级权限管理及操作日志审计功能，全面满足校内网络安全与数据管理要求；同时配套完善的信息内容安全管控机制及应急处置资料，确保平台运行全过程安全可控。； ***个日历天。