标的名称：液相法（电阻）长晶炉
数量/单位：*套
预算金额（元）：*******.**

采购目录：*********增材制造设备

需实现的主要功能或者目标：采用电阻加热方式，在氩气等工艺气体的气氛中，利用液相法制备*英寸以上碳化硅、硅、锗等高质量晶体。针对高质量晶体生长，设备设计了超慢速籽晶杆升降功能以实现晶体近匀速生长，并配备液面熔接检测、视觉检测以及全自动长晶的智能化控制系统。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：一、质量要求：整机全系统保固一年 。在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修及终身维修，均只核收工本费；二、服务要求：①设备自验收合格之日起免费维保一年;②设备在保修期内如有重要零件非人为的损坏，应对零件免费更换；③服务响应时间:*小时电话响应，**小时到现场；三、安全要求：总重小于*吨。需提供 *相*线、******、**** 的稳定工业电源，且设备必须可靠接地。供水必须提供水质为纯水的冷却水，流量 ***;*** */***，进水压力维持在*.*～*.** ***，进水温度 ≈**±* ℃；供气需预设压缩空气（*.*～*.* ***）、氩气（*.*～*.* ***）、氦气（*.*～*.* ***）、氮气（*.*～*.* ***）管路；四、时限要求：****年**月设备到货。

标的名称：原子层沉积机
数量/单位：*套
预算金额（元）：******.**

采购目录：*********其他试验仪器及装置

需实现的主要功能或者目标：实现（包括高深宽比）薄膜均匀镀膜

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：一、质量要求：片内厚度偏差（非均匀性）≤±*%，高深宽比结构侧壁/底部膜厚一致性≥**%，极限真空度≤*******，驱动阀门响应时间≤****，腔体控温精度高于±*℃，泄露率≤*×**⁻⁹ **·*³/*，集成手套箱；二、服务要求：①设备自验收合格之日起免费维保一年;②设备在保修期内如有重要零件非人为的损坏，应对零件免费更换；③服务响应时间:*小时电话响应，**小时到现场；三、安全要求：用电要求**** **/****, 额定功率***,**,峰值功率***,***；四、时限要求：****年*月设备到货。