项目名称：*吋多晶刻蚀设备采购项目
招标项目编号：*****************/**
招标范围：采购全新*吋多晶刻蚀设备*套，用于*吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路*吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体，以达到去除特定区域硅衬，主要用于多晶硅硅栅（**** ****）、多晶硅回刻（**** **** ****）、浅沟槽隔离（***）和硅的金属钨化物（****）刻蚀工艺）。
招标机构：中国远东国际招标有限公司
招标人：陕西电子芯业时代科技有限公司
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公示开始时间：********** **:**
评标公示截止时间：********** **:**
中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
*	北京北方华创微电子装备有限公司	北京北方华创微电子装备有限公司	中国