电子束光刻机测试服务

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电子束光刻机测试服务
公开链接：	**://.../*//****?***=**********************************
采购单位：	复旦大学
采购项目名称：	电子束光刻机测试服务
预算金额：	**.万元
采购品目：	********* 技术测试和分析服务
采购需求概况：	为电子束光刻机提供测试技术服务，包括部件更换以及相关的人工服务。服务目标为满足设备的重要指标参数以及场发射电子枪腔室的真空度要求。
预计采购时间：	**年月
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。