[HF20261298]MEMS芯片技术服务成交公告

2026-06-17

江西/南昌中标结果

[HF20261298]MEMS芯片技术服务成交公告
江西/南昌-2026-06-17 00:00:00

*.项目名称：****芯片技术服务

*.成交供应商名称：中山大学南昌研究院

*.成交供应商地址：江西省南昌市南昌县瑶湖西大道光电产业园*号园区*中山大学南昌研究院精密测量研发中心

*.成交金额(币种)：*.***万元

*.付款方式：服务完成且验收合格后 ** 个工作日之内付合同金额***%。

*.主要成交标的：

序号	服务内容	服务期限
*	器件层正反面光刻刻蚀（完成指定图形加工，刻蚀至埋氧层，*误差± μ，服务次数*次）	*周
*	器件***层图形化（完成指定图形加工，含金料* *，服务次数次）	*周
*	埋氧层释放+硅片干湿清洗（埋氧层去除，服务次数*次）	*周

华中科技大学国家精密重力测量科学中心

****年**月**日