项目名称：电子束直写系统（第二次）
招标项目编号：*****************
招标范围：电子束直写系统 *套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人：/
开标时间：********** **:**
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评标公示截止时间：********** **:**
中标候选人名单：无中标人