标的名称：高真空溅射蒸发一体镀膜系统、铁电分析仪
数量/单位：*套
预算金额（元）：*******.**

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需实现的主要功能或者目标：采购高真空溅射蒸发一体镀膜系统*套，铁电分析仪*套。高真空溅射蒸发一体镀膜系统主要用于科研领域氧化物薄膜制备及电极镀膜。在高真空环境下，通过直流（**）或射频（**）电源轰击靶材，使靶材原子或分子溅射并沉积于基底表面形成薄膜。系统应具备金属、氧化物及氮化物等多种材料的薄膜生长能力，支持单靶溅射及多靶共溅射，可制备单层膜、多层复合膜及掺杂膜系。配备反应溅射功能，可通过引入*₂、*₂、**等工艺气体实现氧化物、氮化物薄膜的反应溅射沉积。
铁电分析仪主要用于铁电材料、压电材料、多铁性材料、介电储能材料等功能材料的研究，可支撑存储器、传感器、换能器及储能电容器等器件的研发工作。在高精度电场激励下，测量铁电材料的极化响应，具备动态/静态电滞回线（*** ****）、漏电流、疲劳特性、保持力、印迹、*** 、****、热释电、电阻、击穿电压、储能密度等铁电性能测试能力。支持变温、变频、变压条件下的扫描测试。可获取材料的介电常数、介电损耗、介电温谱、介电频谱等介电特性参数。设备需配备常温探针台及高低温冷热台，实现从低温到高温宽温域范围内的原位电学性能表征。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准。

标的名称：高灵敏性闪烁体辐射发光光谱仪
数量/单位：*套
预算金额（元）：******.**

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需实现的主要功能或者目标：采购高真灵敏闪烁体发光光谱仪*套，主要用于闪烁体等发光材料的发光性能研究。配备氙灯和*射线两个激发源，配备成像系统，可实现物品的高分辨*射线成像应用。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准。

标的名称：数智化半导体参数实测分析和集成电路制造技术教学平台、高精度高密度阵列自动化测试系统
数量/单位：**台
预算金额（元）：*******.**

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需实现的主要功能或者目标：采购数智化半导体参数实测分析和集成电路制造技术教学平台**台，高精度高密度阵列自动化测试系统*台。高精度高密度阵列自动化测试系统主要用于科研领域半导体器件电学特性的精确测量与表征，可支撑微电子、光电子、功率半导体及新型半导体材料与器件等前沿科研方向。系统应集成源测量单元（***）、电容电压单元（***表）、矩阵开关模组等核心模块，支持电流*电压（** ***）、电容*电压（***）、快速脉冲***等多种测试模式，可实现晶体管输出特性、转移特性、阈值电压、击穿电压等关键参数提取，以及***电容、**结电容等***特性参数计算。
数智化半导体参数实测分析和集成电路制造技术教学平台主要用于微电子科学与工程专业的教学，支撑相关专业课程的实验课程教学。设备集成源测量单元（***）、电容电压单元（***表）、逻辑分析仪、成示波器、任意波形发生器等模块，设备开放硬件的*******、******、* ***接口，支持二次开发，设备预装集成电路制造技术虚拟仿真教学软件，支持半导体器件电学性能测试和相关集成电路制造技术的虚拟仿真。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准；以后期招标文件为准。