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招标项目编号：*****************

项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统

项目名称（英文）：*********** ******* ****** ******** ***** **********

招标人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

招标机构：上海中招招标有限公司

招标方式：公开招标

招标结果：重新招标