*.设备主要应用于样品表面清洁、活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、表面有机物去除、镀膜前处理等，免维护，无需任何耗材。 *.触摸屏操作界面触摸屏+***控制，过程控制可采用自动与手动方式； *.射频频率：**.*****，电源功率**** (可调)； *.气体路数：两种质量流量计，量程*******； *.外形尺寸：***×***×*** ** *.内腔尺寸：***×***×***** *.载物规格：***×***（*×*）共*层； *.腔体容积：*** *.真空度:******* **.电源:**** **/****； **.可通入氩气、氧气、氮气、空气、氢+氮气(混合气体)等； **.真空泵抽气速率:****/*

配置清单：真空等离子清洗机主机、真空泵系统及相关配件、说明书、保修卡、合格证等；我司对所提供的设备负责保用一年(易耗件除外)，对正常应用状况下出现的问题免费进行维护和维修；**小时内响应服务；