13M清洗系统（CCP等离子体源）

2026-06-04

上海招标采购

13M清洗系统（CCP等离子体源）
上海-2026-06-04 00:00:00

********** * 竞价公告 (******************)

发布时间：********** **:**:** 截止时间：********** **:**:**

基本信息：

采购明细：

***清洗系统（***等离子体源）

*(套)

＂核心指标： *. 脉冲上升沿，*.* μ*，下降沿*.* μ* *. 脉冲频率：****，****** 其他指标： *. 机箱类型：半机箱 *. 电源频率：**.***** *. 电源功率：≥***** *. 电源供电： ****，* 相 * 线 *. 电源接口：**** *. 通讯协议：******** *. 匹配器供电：*** *. 负载类型：容性负载 *. 安全互锁：********* **. 匹配器：带 *** *** 功能＂

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