********** 调制脉冲低温等离子体实验电源主要技术指标 （*） 中心频率：约*****； （*）频率可调范围：*～*****； （*）电源功率：*～****； （*）调制脉冲频率：*～****** 可调； （*）占空比：*%～**%； （*）输出电压：*～****； （*）电源检测端口：输出电压检测（内部带****：* 的电 容分压器），瞬时电流检测，积分电流检测。可加热型单介质阻挡放电同轴式反应器：*、有效放电宽度*****, *、单边放电间隙***， *、外电板为钢玉陶瓷管外径Φ****内径Φ**的; 内电板为不锈钢电极材料为不锈钢***，直径 Φ****，齿形凸台直径Φ****。 *、气体进出口与外径***的硬管联接。 *、放电部分可通过管式加热炉进行加热。 *、金属材料均为***不锈钢材料。 *、拆卸时应先将外法兰拆下，向内推内法兰， 露出密封圈后取出，再将内法兰拆下。 *、安装按拆卸步骤反向进行。

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